[实用新型]一种用于转移晶圆盒货架的搬运设备有效
| 申请号： | 202021726486.4 | 申请日： | 2020-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN213293966U | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 吴功;顾俊;李壮;姚梦 | 申请（专利权）人： | 上海大族富创得科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/90 | 分类号： | B65G47/90 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 林凡燕 |
| 地址： | 201112 上海市闵行区万*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种用于转移晶圆盒货架的搬运设备，用于转移晶圆盒货架的搬运设备包括夹持机构和送出机构，在夹持机构内设抓取机构和罩设在抓取机构外部的罩体，抓取机构的夹爪设备抓取放置有多个晶圆盒的货架；送出机构置于夹持机构底部，可带动所述夹持机构沿第一方向运动，将所述货架推出或拉入所述搬运设备。本实用新型的搬运设备可以抓取放置有多个晶圆盒的货架，一次性可以完成多个晶圆盒的运送，提高了运送效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 转移 晶圆盒 货架 搬运 设备 | ||
【主权项】：
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