[实用新型]一种用于转移晶圆盒货架的搬运设备

权利要求书

1.一种用于转移晶圆盒货架的搬运设备，其特征在于，包括：

夹持机构，内设抓取机构和罩设在所述抓取机构外部的罩体，所述抓取机构的夹爪设备伸出在所述罩体外并用于抓取放置有多个晶圆盒的货架，所述夹爪设备包括第三电机、双螺纹丝杠和套设于所述双螺纹丝杠并螺纹连接的两夹爪，所述夹爪从所述罩体上开设的通孔向外伸出，所述第三电机通过所述双螺纹丝杠旋转控制两所述夹爪相对运动；

送出机构，置于所述夹持机构底部，所述送出机构带动所述夹持机构沿第一方向运动，将所述货架推出或拉入所述搬运设备。

2.根据权利要求1所述的用于转移晶圆盒货架的搬运设备，其特征在于：在所述夹爪伸出罩体的伸出部分上相对于另一夹爪设置有V形槽，在夹取所述货架时两所述伸出部分通过V形槽将所述货架的固定块卡入其中。

3.根据权利要求2所述的用于转移晶圆盒货架的搬运设备，其特征在于：在所述V形槽内设有为所述固定块导向的辊轮。

4.根据权利要求1所述的用于转移晶圆盒货架的搬运设备，其特征在于：所述送出机构包括与所述夹持机构相连的推板、置于所述推板底部并在其输出轴上套设第一齿轮的第一电机、以及与所述推板相连且与所述第一齿轮啮合的第一齿条，所述第一齿条沿所述第一方向铺设。

5.根据权利要求4所述的用于转移晶圆盒货架的搬运设备，其特征在于：在所述推板或所述罩体上设有用于检测所述货架的检测面的检测元件。

6.根据权利要求1所述的用于转移晶圆盒货架的搬运设备，其特征在于：分别在所述送出机构的两侧设置一举升机构，所述举升机构包括具有顶升平台的顶升机构，所述顶升机构通过驱动设备控制所述顶升平台沿与所述第一方向垂直的第二方向顶升所述夹爪设备。

7.根据权利要求6所述的用于转移晶圆盒货架的搬运设备，其特征在于：所述驱动设备包括第二电机和沿所述第二方向铺设于所述顶升平台的底部杆件的第二齿条，所述第二电机的输出轴上套设一与所述第二齿条相啮合的第二齿轮。

8.根据权利要求6所述的用于转移晶圆盒货架的搬运设备，其特征在于：所述夹爪设备利用过渡板与所述罩体滑动连接。

9.根据权利要求8所述的用于转移晶圆盒货架的搬运设备，其特征在于：在所述过渡板上还设置有与所述螺纹丝杠相平行的滑轨，所述滑轨的滑块与所述夹爪上所凸出的凸块相连。

10.根据权利要求6所述的用于转移晶圆盒货架的搬运设备，其特征在于：在所述顶升平台的顶面上安装有多个滚珠，所述滚珠在推出或拉入所述货架时与所述货架底部滚动接触。