[实用新型]一种用于转移晶圆盒货架的搬运设备

说明书

本实用新型提供一种用于转移晶圆盒货架的搬运设备，用于转移晶圆盒货架的搬运设备包括夹持机构和送出机构，在夹持机构内设抓取机构和罩设在抓取机构外部的罩体，抓取机构的夹爪设备抓取放置有多个晶圆盒的货架；送出机构置于夹持机构底部，可带动所述夹持机构沿第一方向运动，将所述货架推出或拉入所述搬运设备。本实用新型的搬运设备可以抓取放置有多个晶圆盒的货架，一次性可以完成多个晶圆盒的运送，提高了运送效率。

技术领域

本实用新型属于半导体技术领域，涉及一种用于转移晶圆盒货架的搬运设备。

背景技术

目前在半导体行业面临着人员成本不断增加的问题，为了能够减少人力，削减成本，同时还可以提高工作效率，保证安全性。基于这个原因，工厂自动化成为企业所正在追求的。而搬运机器人在这些行业中是不可少的一个环节，目前半导体存在并运用于该行业的有人工小车搬运和OHT搬运(高空提升运输搬运系统)。人工搬运需要将所需物料放置到一个普通小车上，进行推着小车走的搬运，长期人员搬运使得员工疲劳费力，不能一直保持固定搬运能力。OHT进行单个物料搬运，就OHT本身来说轨道是单一，会存在堵车现象。OHT在前期建厂时就需要提前规划完成，对于整个工厂前期投入成本增加，由于OHT线路已经规划好，后期更改设备位置是无法完成的，无法满足日益多变的生产工艺需求。

为使得在更改设备位置的情况下，仍旧可进行晶圆盒的搬运，在当前的半导体行业中可采用在AGV小车上安装机械手来抓取晶圆盒，例如采用丹麦的UR六轴机械臂，此类机械手仅单次只能抓取单个晶圆盒，搬运效率低。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种用于转移晶圆盒货架的搬运设备，用于解决现有技术中机械手仅单次只能抓取单个晶圆盒的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种用于转移晶圆盒货架的搬运设备，包括：

夹持机构，内设抓取机构和罩设在所述抓取机构外部的罩体，所述抓取机构的夹爪设备伸出在所述罩体外并用于抓取放置有晶圆盒的货架，所述夹爪设备包括第三电机、双螺纹丝杠和套设于所述双螺纹丝杠并螺纹连接的两夹爪，所述夹爪从所述罩体上开设的通孔向外伸出，所述第三电机通过所述双螺纹丝杠旋转控制两所述夹爪相对运动；

送出机构，置于所述夹持机构底部，所述送出机构带动所述夹持机构沿第一方向运动，将所述货架推出或拉入所述搬运设备。

于本实用新型的一实施例中，在所述夹爪伸出罩体的伸出部分上相对于另一夹爪设置有 V形槽，在夹取所述货架时两所述伸出部分通过V形槽将所述货架的固定块卡入其中。

于本实用新型的一实施例中，在所述V形槽内设有为所述固定块导向的辊轮。

于本实用新型的一实施例中，所述送出机构包括与所述夹持机构相连的推板、置于所述推板底部并在其输出轴上套设第一齿轮的第一电机、以及与所述推板相连且与所述第一齿轮啮合的第一齿条，所述第一齿条沿所述第一方向铺设。

于本实用新型的一实施例中，在所述推板或所述罩体上设有用于检测所述货架的检测面的检测元件。

于本实用新型的一实施例中，分别在所述送出机构的两侧设置一举升机构，所述举升机构包括具有顶升平台的顶升机构，所述顶升机构通过驱动设备控制所述顶升平台沿与所述第一方向垂直的第二方向顶升所述夹爪设备。

于本实用新型的一实施例中，所述驱动设备包括第二电机和沿所述第二方向铺设于所述顶升平台的底部杆件的第二齿条，所述第二电机的输出轴上套设一与所述第二齿条相啮合的第二齿轮。

于本实用新型的一实施例中，所述夹爪设备利用过渡板与所述罩体滑动连接。

于本实用新型的一实施例中，在所述过渡板上还设置有与所述螺纹丝杠相平行的滑轨，所述滑轨的滑块与所述夹爪上所凸出的凸块相连。