[实用新型]介质阻挡放电离子源的气体控温装置有效
| 申请号: | 202021704750.4 | 申请日: | 2020-08-15 |
| 公开(公告)号: | CN212659505U | 公开(公告)日: | 2021-03-05 |
| 发明(设计)人: | 甘剑勤;洪欢欢;闻路红;肖前虎;胡淇能 | 申请(专利权)人: | 宁波华仪宁创智能科技有限公司 |
| 主分类号: | H01J27/02 | 分类号: | H01J27/02 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 315000 浙江省宁波市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | 本实用新型提供了一种介质阻挡放电离子源的气体控温装置,所述气体控温装置包括用于形成气体通道的第一管;所述第一管设置在第二管的内侧;第一连接件设置在所述第一管和第二管的端部,并具有与所述气体通道连通的第一通孔;测温元件设置在所述第一管的内部;加热件设置在所述第一管上;第二连接件设置在所述第一管和第二管的另一端部,并与所述第二管连接;第三管处于所述第一管和第二管之间,并穿过所述第二连接件的第二通孔;密封件设置在所述第一连接件和第二管之间,以及第二连接件和第二管之间。本实用新型具有气体控温精度高、结构简单、集成度高等优点。 | ||
| 搜索关键词: | 介质 阻挡 放电 离子源 气体 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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