[实用新型]介质阻挡放电离子源的气体控温装置有效
| 申请号： | 202021704750.4 | 申请日： | 2020-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN212659505U | 公开（公告）日： | 2021-03-05 |
| 发明（设计）人： | 甘剑勤;洪欢欢;闻路红;肖前虎;胡淇能 | 申请（专利权）人： | 宁波华仪宁创智能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J27/02 | 分类号： | H01J27/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 315000 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 介质 阻挡 放电 离子源 气体 装置 | ||
1.一种介质阻挡放电离子源的气体控温装置，所述气体控温装置包括用于形成气体通道的第一管；其特征在于：所述介质阻挡放电离子源的气体控温装置还包括：
第二管，所述第一管设置在所述第二管的内侧；
第一连接件，所述第一连接件设置在所述第一管和第二管的端部，并具有与所述气体通道连通的第一通孔；
测温元件，所述测温元件设置在所述第一管的内部；
加热件，所述加热件设置在所述第一管上；
第二连接件，所述第二连接件设置在所述第一管和第二管的另一端部，并与所述第二管连接；
第三管，所述第三管处于所述第一管和第二管之间，并穿过所述第二连接件的第二通孔；
密封件，所述密封件设置在所述第一连接件和第二管之间，以及第二连接件和第二管之间。
2.根据权利要求1所述的介质阻挡放电离子源的气体控温装置，其特征在于：所述第三管包括：
第一部分，所述第一部分处于所述第一管和第二管之间；
连接部，所述连接部用于连接所述第一部分和第二部分；
第二部分，所述第二部分穿过所述第二通孔；所述第一部分和第二部分的外径不同。
3.根据权利要求2所述的介质阻挡放电离子源的气体控温装置，其特征在于：所述密封件设置在所述连接部和第二连接件之间。
4.根据权利要求2所述的介质阻挡放电离子源的气体控温装置，其特征在于：所述第一管、连接部和第二部分的内径相同。
5.根据权利要求1所述的介质阻挡放电离子源的气体控温装置，其特征在于：所述第一连接件具有环形凹槽，所述第一管的一端处于所述环形凹槽内。
6.根据权利要求1所述的介质阻挡放电离子源的气体控温装置，其特征在于：所述第一连接件具有适于所述测温元件穿过的第三通孔；所述密封件填充的在所述测温元件和第三通孔间。
7.根据权利要求1所述的介质阻挡放电离子源的气体控温装置，其特征在于：所述第二管的端部具有环形台阶，所述第一连接件处于所述环形台阶上。
8.根据权利要求1所述的介质阻挡放电离子源的气体控温装置，其特征在于：所述第一连接件具有适于加热件的线缆穿过的第四通孔，所述密封件填充在所述线缆和第四通孔间。
9.根据权利要求1所述的介质阻挡放电离子源的气体控温装置，其特征在于：所述第二连接件和第二管间通过螺纹连接。
10.根据权利要求1所述的介质阻挡放电离子源的气体控温装置，其特征在于：所述第一管、第二管、第一连接件和第二连接件为陶瓷件，第三管采用石英管。
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