[实用新型]介质阻挡放电离子源的气体控温装置

说明书

本实用新型提供了一种介质阻挡放电离子源的气体控温装置，所述气体控温装置包括用于形成气体通道的第一管；所述第一管设置在第二管的内侧；第一连接件设置在所述第一管和第二管的端部，并具有与所述气体通道连通的第一通孔；测温元件设置在所述第一管的内部；加热件设置在所述第一管上；第二连接件设置在所述第一管和第二管的另一端部，并与所述第二管连接；第三管处于所述第一管和第二管之间，并穿过所述第二连接件的第二通孔；密封件设置在所述第一连接件和第二管之间，以及第二连接件和第二管之间。本实用新型具有气体控温精度高、结构简单、集成度高等优点。

技术领域

本实用新型涉及离子源，特别涉及介质阻挡放电离子源的气体控温装置。

背景技术

在介质阻挡放电离子源放电机理下，对于不同的样品离子化测试需要不同温度的气体输入，产生对应状态下的离子束。在高温工作环境下(尤其是500℃以上环境)，这就要求在无外界环境干扰下(管路密封状态下)的准确气体测温方法，尤其不同非金属材料的高温密封以及防止电子干扰准确测温。目前解决该类问题的技术方法有：

1.采用高温胶密封下的气体测温方法，该方法适用于可拆卸性不高、气密性要求高的环境，具有良好的密封性，对于气体测温的外部干扰较小，气体测温较准确，但是对陶瓷加热管的表面损伤、拆卸清理、涂装工艺要求高，特别是对于多处密封的一致性问题较为严重；

2.机械结构密封下的气体测温方法，该方法通过夹紧方式固定，具有良好的可靠性，但是DBD中玻璃管介质的夹紧力无法准确空位，造成玻璃管破碎；

3.螺纹连接的气体测温方法，锥-柱及锥-锥螺纹连接是目前金属密封的有效方式，但是对于玻璃管与陶瓷件的内外螺纹加工有一定的难度，且是两种不同材料的高温密封，很难达到一致性；

4.管内外的气体测温方式，适用于无干扰回流状态下的通气、储气测温，但是对于存在电子回流状态的管内测温干扰太大、管外测温的环境干扰无法消除，影响测温精度。

实用新型内容

为解决上述现有技术方案中的不足，本实用新型提供了一种控温精度高、结构简单、拆装方便的介质阻挡放电离子源的气体控温装置。

本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的：

一种介质阻挡放电离子源的气体控温装置，所述气体控温装置包括用于形成气体通道的第一管；所述介质阻挡放电离子源的气体控温装置还包括：

第二管，所述第一管设置在所述第二管的内侧；

第一连接件，所述第一连接件设置在所述第一管和第二管的端部，并具有与所述气体通道连通的第一通孔；

测温元件，所述测温元件设置在所述第一管的内部；

加热件，所述加热件设置在所述第一管上；

第二连接件，所述第二连接件设置在所述第一管和第二管的另一端部，并与所述第二管连接；

第三管，所述第三管处于所述第一管和第二管之间，并穿过所述第二连接件的第二通孔；

密封件，所述密封件设置在所述第一连接件和第二管之间，以及第二连接件和第二管之间。

与现有技术相比，本实用新型具有的有益效果为：

利用第一连接件、第二管、第二连接件和密封件，实现了高温环境下的不同非金属材料装配形成的密封无泄漏测温环境，集成测温元件如热电偶，达到精确测温下的介质阻挡放电输入气体的温度控制，且外部干扰小、拆装方便、结构简单。

附图说明

参照附图，本实用新型的公开内容将变得更易理解。本领域技术人员容易理解的是：这些附图仅仅用于举例说明本实用新型的技术方案，而并非意在对本实用新型的保护范围构成限制。图中：