[实用新型]一种具有RFID标志载盘的晶圆处理装置有效
| 申请号： | 202021697529.0 | 申请日： | 2020-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN213001553U | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 李泽豪;李庆芬 | 申请（专利权）人： | 江苏携尔泰智能设备科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B13/00;B01D46/10;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人： | 李洪波 |
| 地址： | 225100 江苏省扬州市邗*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及RFID晶圆处理技术领域，公开了一种具有RFID标志载盘的晶圆处理装置，包括除尘筒和风筒；所述风筒顶端中部通过螺栓固定安装有电机，所述电机中部垂直转动设置有转轴，所述转轴外壁上键槽连接有扇叶，所述风筒外壁顶部贯穿开设有通气孔，所述风筒外壁顶部套接有过滤网，所述风筒内腔底端中部垂直贯穿焊接有吹气管，所述吹气管位于风筒内腔部分的外壁中部贯穿开设有出气孔。本实用新型在实际使用的过程中，可以方便快速的清除晶圆表面的灰尘，且清除的更加干净彻底，同时在清除晶圆表面灰尘的过程中可以对灰尘进行收集，避免吹除的灰尘重新落到晶圆表面造成二次污染，而且本装置可以方便的对过滤网进行拆卸清理。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 rfid 标志 处理 装置 | ||
【主权项】：
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