[实用新型]一种具有RFID标志载盘的晶圆处理装置

说明书

本实用新型涉及RFID晶圆处理技术领域，公开了一种具有RFID标志载盘的晶圆处理装置，包括除尘筒和风筒；所述风筒顶端中部通过螺栓固定安装有电机，所述电机中部垂直转动设置有转轴，所述转轴外壁上键槽连接有扇叶，所述风筒外壁顶部贯穿开设有通气孔，所述风筒外壁顶部套接有过滤网，所述风筒内腔底端中部垂直贯穿焊接有吹气管，所述吹气管位于风筒内腔部分的外壁中部贯穿开设有出气孔。本实用新型在实际使用的过程中，可以方便快速的清除晶圆表面的灰尘，且清除的更加干净彻底，同时在清除晶圆表面灰尘的过程中可以对灰尘进行收集，避免吹除的灰尘重新落到晶圆表面造成二次污染，而且本装置可以方便的对过滤网进行拆卸清理。

技术领域

本实用新型涉及RFID晶圆处理技术领域，具体为一种具有RFID标志载盘的晶圆处理装置。

背景技术

电子标签即RFID标签，是RFID的俗称。沃尔玛、SAP、BEA、Intel、SensiTech、Swisslog等国际机构在各自行业中对射频识别技术的推广应用，证明和揭示了该项技术巨大的发展潜力和广泛的应用前景。

晶圆是RFID标签在制作过程中需要使用到的非常重要的元件，在集成电路制造过程中，制备完成的晶圆一般是被放置于一个陶瓷材质载盘上，并紧接着进行相关加工制程，例如上蜡、抛光、研磨。

现有的晶圆制造生产线中，晶圆没完成一道加工就需要进行表面除尘处理，但是现有的晶圆除尘处理装置在实际使用的过程中除灰效果不好，且除去的灰尘容易重下新落到晶圆上造成二次污染。

为解决上述问题，本实用新型提出一种具有RFID标志载盘的晶圆处理装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种具有RFID标志载盘的晶圆处理装置，解决了背景技术中所提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种具有RFID标志载盘的晶圆处理装置，包括除尘筒和风筒；

所述风筒顶端中部通过螺栓固定安装有电机，所述电机中部垂直转动设置有转轴，所述转轴外壁上键槽连接有扇叶，所述风筒外壁顶部贯穿开设有通气孔，所述风筒外壁顶部套接有过滤网，所述风筒内腔底端中部垂直贯穿焊接有吹气管，所述吹气管位于风筒内腔部分的外壁中部贯穿开设有出气孔，所述风筒内腔底部滑动设置有活塞，所述吹气管垂直滑动贯穿活塞中部，所述风筒内腔底部于活塞底部之间设置有弹簧，所述风筒外壁上螺纹连接有除尘筒。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述过滤网内壁顶部和底部均固定粘接有磁铁条，两组所述磁铁条均磁性吸附于风筒外壁上。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述活塞内壁与外壁上均固定套接有密封圈。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述转轴垂直转动贯穿风筒顶端中部，所述扇叶位于风筒内腔。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述风筒顶部垂直固定焊接有支撑杆，所述支撑杆顶部固定焊接有安装板，所述安装板左右两侧贯穿连接有固定螺栓。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1.本实用新型一种具有RFID标志载盘的晶圆处理装置，本装置在实际使用的过程中，可以方便快速的清除晶圆表面的灰尘，且清除的更加干净彻底，同时在清除晶圆表面灰尘的过程中可以对灰尘进行收集，避免吹除的灰尘重新落到晶圆表面造成二次污染，而且本装置可以方便的对过滤网进行拆卸清理。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本实用新型一种具有RFID标志载盘的晶圆处理装置的前视图；

图2为本实用新型一种具有RFID标志载盘的晶圆处理装置的前视剖面图；