[实用新型]一种具有RFID标志载盘的晶圆处理装置

权利要求书

1.一种具有RFID标志载盘的晶圆处理装置，其特征在于，包括除尘筒(1)和风筒(15)；

所述风筒(15)顶端中部通过螺栓固定安装有电机(5)，所述电机(5)中部垂直转动设置有转轴(12)，所述转轴(12)外壁上键槽连接有扇叶(8)，所述风筒(15)外壁顶部贯穿开设有通气孔(10)，所述风筒(15)外壁顶部套接有过滤网(9)，所述风筒(15)内腔底端中部垂直贯穿焊接有吹气管(14)，所述吹气管(14)位于风筒(15)内腔部分的外壁中部贯穿开设有出气孔(16)，所述风筒(15)内腔底部滑动设置有活塞(7)，所述吹气管(14)垂直滑动贯穿活塞(7)中部，所述风筒(15)内腔底部于活塞(7)底部之间设置有弹簧(6)，所述风筒(15)外壁上螺纹连接有除尘筒(1)。

2.根据权利要求1所述的一种具有RFID标志载盘的晶圆处理装置，其特征在于：所述过滤网(9)内壁顶部和底部均固定粘接有磁铁条(11)，两组所述磁铁条(11)均磁性吸附于风筒(15)外壁上。

3.根据权利要求1所述的一种具有RFID标志载盘的晶圆处理装置，其特征在于：所述活塞(7)内壁与外壁上均固定套接有密封圈(13)。

4.根据权利要求1所述的一种具有RFID标志载盘的晶圆处理装置，其特征在于：所述转轴(12)垂直转动贯穿风筒(15)顶端中部，所述扇叶(8)位于风筒(15)内腔。

5.根据权利要求1所述的一种具有RFID标志载盘的晶圆处理装置，其特征在于：所述风筒(15)顶部垂直固定焊接有支撑杆(2)，所述支撑杆(2)顶部固定焊接有安装板(4)，所述安装板(4)左右两侧贯穿连接有固定螺栓(3)。