[实用新型]一种变频节能真空抽气系统有效
| 申请号： | 202021689195.2 | 申请日： | 2020-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN213899330U | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | 吴煜明 | 申请（专利权）人： | 柏霆（苏州）光电科技有限公司 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F04D29/00;F04D27/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空溅镀机辅助设备领域，尤其涉及一种变频节能真空抽气系统，包括缓冲腔体、载入腔体、腔体闸门、中型干式泵组、小型干式泵组、涡轮分子泵和控制器；所述缓冲腔体和载入腔体连接，并且由腔体闸门进行两个腔体连接处与端口的封闭；所述缓冲腔体两侧和小型干式泵组连接的腔体抽气分流管上连接涡轮分子泵；采用本实用新型，选用一套中型干式泵组加一套小型干式泵组的真空泵组组合，分别配置变频器再通过一套涡轮分子泵作为后段抽气泵，依据真空压力值的变化进行抽气管路及角阀开关控制，形成一套智能化控制具变频节能的真空抽气系统，并且整体结构简单，设计与改装成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 变频 节能 真空 系统 | ||
【主权项】：
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