[实用新型]一种变频节能真空抽气系统

权利要求书

1.一种变频节能真空抽气系统，其特征在于，包括缓冲腔体(2)、载入腔体(3)、腔体闸门(1)、中型干式泵组(6)、小型干式泵组(9)、涡轮分子泵(11)和控制器；

所述缓冲腔体(2)和载入腔体(3)连接，并且由腔体闸门(1)进行两个腔体连接处与端口的封闭；所述缓冲腔体(2)和载入腔体(3)的两侧均设置有腔体抽气分流管(5)，所述中型干式泵组(6)设置于载入腔体(3)的一侧，所述小型干式泵组(9)设置于载入腔体(3)的另一侧，所述中型干式泵组(6)和小型干式泵组(9)均通过干式泵抽气连接弯管(8)和干式泵抽气连接管(7)接入腔体抽气分流管(5)；所述缓冲腔体(2)两侧和小型干式泵组(9)连接的腔体抽气分流管(5)上连接涡轮分子泵(11)；

所述腔体闸门(1)、中型干式泵组(6)、小型干式泵组(9)和涡轮分子泵(11)均与控制器信号连接。

2.根据权利要求1所述的一种变频节能真空抽气系统，其特征在于，所述涡轮分子泵(11)和腔体抽气分流管(5)之间还设置有涡轮分子泵用闸阀(13)。

3.根据权利要求1所述的一种变频节能真空抽气系统，其特征在于，所述中型干式泵组(6)一侧的干式泵抽气连接管(7)上设置有中型干式泵用直角阀(4)。

4.根据权利要求1所述的一种变频节能真空抽气系统，其特征在于，所述小型干式泵组(9)一侧的干式泵抽气连接管(7)上设置有小型干式泵用直角阀(14)。

5.根据权利要求1所述的一种变频节能真空抽气系统，其特征在于，所述载入腔体(3)和缓冲腔体(2)中均设置有真空计。

6.根据权利要求1所述的一种变频节能真空抽气系统，其特征在于，所述缓冲腔体(2)和载入腔体(3)的外形尺寸相同且内部气体通路连贯。