[实用新型]一种变频节能真空抽气系统

说明书

本实用新型涉及真空溅镀机辅助设备领域，尤其涉及一种变频节能真空抽气系统，包括缓冲腔体、载入腔体、腔体闸门、中型干式泵组、小型干式泵组、涡轮分子泵和控制器；所述缓冲腔体和载入腔体连接，并且由腔体闸门进行两个腔体连接处与端口的封闭；所述缓冲腔体两侧和小型干式泵组连接的腔体抽气分流管上连接涡轮分子泵；采用本实用新型，选用一套中型干式泵组加一套小型干式泵组的真空泵组组合，分别配置变频器再通过一套涡轮分子泵作为后段抽气泵，依据真空压力值的变化进行抽气管路及角阀开关控制，形成一套智能化控制具变频节能的真空抽气系统，并且整体结构简单，设计与改装成本低。

技术领域

本实用新型涉及真空溅镀机辅助设备领域，尤其涉及一种变频节能真空抽气系统。

背景技术

连续式真空溅镀线采用多段式抽气减压方式，使工件从大气环境下进入到适合镀膜的真空环境。在中型(或大型)连续式真空溅镀线的设计中，入料段真空腔体的抽气泵配置，经常以多套中型(或大型) 排气量干式泵+鲁式泵建置(以下简称干式泵组)，采用同时启动及停止(或部份停止)作为真空抽气手段。

多段式减压的概念为，当前段腔体内真空压力值与相邻腔体能达到相近时，此时二腔体之间的压力差变小，隔断闸门可以有效开启而不会造成腔体内部的压力波动，压力波动愈小，对腔体内部设置的真空元件，例真空计/真空泵较不易造成冲击导致损坏，甚至是工件的飘移或散落。

入料段腔体提任大气与初段真空的衔接工作，所使用的真空泵系统通常会设计以较大排气量的规格。以因应在入料初期有效且快速的抽除空气，将压力下降到合适阶段，使工件得以快速进入下一腔体。此时的真空泵系统在运转的设定，多以全速且长时间工作为原则，基本上开线后就保持全速运转，即使在等待入料或生产空档时，都不作停机休息，相对在电能消耗上占有很大比例处于浪费。

实用新型内容

本实用新型目的是在于提供一种结构简单，节能环保，抽气效率高的真空抽气系统。

一种变频节能真空抽气系统，包括缓冲腔体、载入腔体、腔体闸门、中型干式泵组、小型干式泵组、涡轮分子泵和控制器；

所述缓冲腔体和载入腔体连接，并且由腔体闸门进行两个腔体连接处与端口的封闭；所述缓冲腔体和载入腔体的两侧均设置有腔体抽气分流管，所述中型干式泵组设置于载入腔体的一侧，所述小型干式泵组设置于载入腔体的另一侧，所述中型干式泵组和小型干式泵组均通过干式泵抽气连接弯管和干式泵抽气连接管接入腔体抽气分流管；所述缓冲腔体两侧和小型干式泵组连接的腔体抽气分流管上连接涡轮分子泵；

所述腔体闸门、中型干式泵组、小型干式泵组和涡轮分子泵均与控制器信号连接。

进一步的，所述涡轮分子泵和腔体抽气分流管之间还设置有涡轮分子泵用闸阀。

进一步的，所述中型干式泵组一侧的干式泵抽气连接管上设置有中型干式泵用直角阀。

进一步的，所述小型干式泵租一侧的干式泵抽气连接管上设置有小型干式泵用直角阀。

进一步的，所述载入腔体和缓冲腔体中均设置有真空计。

进一步的，所述缓冲腔体和载入腔体的外形尺寸相同且内部气体通路连贯。

本实用新型的有益效果是：