[实用新型]一种晶圆FOUP自动装载机Load port自动定位送料装置

摘要

本实用新型公开了一种晶圆FOUP自动装载机Load port自动定位送料装置，包括箱体、螺母座、圆头螺栓、工作台、装载板、在席传感器、定位柱、装载气缸、活塞杆、卡勾、支座、活动孔、送料气缸、电磁阀、开关按钮、V形安装板和安装孔；该实用新型，在装载板上增设在席传感器和定位柱，使晶圆盒能正确的放置在装载板上，从而对晶圆盒的装载进行了定位，方便人员确认晶圆盒是否在席或放置妥当，提高了开盖模组和送料模组之间配合的准确性，保障了晶圆检查机的正常运转，提升了晶圆的检查效率，在装载板上增设装载气缸和卡勾，从而对晶圆盒起到了固定的作用，避免了送料过程中晶圆盒的倾覆问题，提高了送料的安全性，避免了不必要的晶圆损失。