[实用新型]一种晶圆FOUP自动装载机Load port自动定位送料装置有效
| 申请号： | 202021688592.8 | 申请日： | 2020-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN213042889U | 公开（公告）日： | 2021-04-23 |
| 发明（设计）人： | 吴昌浩;李涛;王广禄;陈曦;柯华榕 | 申请（专利权）人： | 憬承光电科技（厦门）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;B65G47/90 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 361101 福建省厦门市厦门*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 foup 自动 装载 load port 定位 装置 | ||
1.一种晶圆FOUP自动装载机Load port自动定位送料装置，包括箱体(1)、螺母座(2)、圆头螺栓(3)、工作台(4)、装载板(5)、在席传感器(6)、定位柱(7)、装载气缸(8)、活塞杆(9)、卡勾(10)、支座(11)、活动孔(12)、送料气缸(13)、电磁阀(14)、开关按钮(15)、V形安装板(16)和安装孔(17)，其特征在于：所述箱体(1)的顶部通过螺母座(2)和圆头螺栓(3)与工作台(4)的底部固定连接，所述工作台(4)顶部的一侧与装载板(5)底部的一侧固定铰接，所述装载板(5)底部的两角和另一侧均分别固定安装有在席传感器(6)和定位柱(7)，且装载板(5)底部的中心固定安装有装载气缸(8)，所述装载气缸(8)的输出端与活塞杆(9)的一端固定铰接，所述活塞杆(9)的另一端与卡勾(10)的一端固定铰接，所述卡勾(10)中段的两侧与支座(11)的一端固定铰接，所述支座(11)的顶部与装载板(5)底部的一侧固定连接；所述卡勾(10)的另一端伸入活动孔(12)中，所述活动孔(12)开设在装载板(5)顶部的一侧。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆FOUP自动装载机Load port自动定位送料装置，其特征在于：所述装载板(5)底部的相邻一侧固定安装有送料气缸(13)，所述的送料气缸(13)的输出端与工作台(4)底部的一侧固定连接，所述工作台(4)底部的一角分别固定安装有电磁阀(14)和开关按钮(15)，且工作台(4)底部的两侧均固定安装有V形安装板(16)，所述V形安装板(16)侧面的底端开设有安装孔(17)。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆FOUP自动装载机Load port自动定位送料装置，其特征在于：所述螺母座(2)设置有三个，分别设置在箱体(1)内壁的两角和一侧，且螺母座(2)顶部的中心与圆头螺栓(3)的一端固定套接，所述圆头螺栓(3)设置有三个，分别贯穿工作台(4)顶部的两角和另一侧，且圆头螺栓(3)另一端底部的外缘与工作台(4)的顶部相接触。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆FOUP自动装载机Load port自动定位送料装置，其特征在于：所述在席传感器(6)和定位柱(7)的顶部均伸出装载板(5)的顶部。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆FOUP自动装载机Load port自动定位送料装置，其特征在于：所述开关按钮(15)的顶部伸出工作台(4)的顶部。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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