[实用新型]芯片自动清洗设备有效
| 申请号： | 202021646928.4 | 申请日： | 2020-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN213079206U | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 薛小宾;李伟 | 申请（专利权）人： | 深圳市赛平精密技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/00 | 分类号： | B08B1/00;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 深圳市宏德雨知识产权代理事务所(普通合伙) 44526 | 代理人： | 李捷 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及芯片刷洗机领域，特别涉及芯片自动清洗设备，包括：机架、上下料工位组件、单面清洗组件、和机械手运片组件。上下料工位组件设置在机架的一端。单面清洗组件用于清洗芯片。机械手运片组件用于取放芯片。机械手运片组件包括设置在机架的中部的导轨平台，设置在导轨平台上的x轴运动单元、y轴运动单元、z轴运动单元、旋转轴运动单元、及设置在旋转轴运动单元上的机械手。本实用新型通过机械手运片组件的设置，简化了芯片自动清洗设备的结构，节省了制作芯片自动清洗设备的成本，且减少了将待清洗的芯片移送至单面清洗组件内清洗，并将已在单面清洗组件清洗好的芯片移送至上下料工位组件内存储的时间，提高了芯片清洗的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 芯片 自动 清洗 设备 | ||
【主权项】：
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