[实用新型]连续型纳米薄膜制备用气相沉积设备

摘要

本实用新型公开连续型纳米薄膜制备用气相沉积设备，包括导气机构、密封卡条、齿形皮带轮、齿形皮带、定位槽和支撑机构，所述支撑机构的上端面滑动卡接有导气机构，且位于所述支撑机构的内端面对称转动卡接有齿形皮带轮。本实用新型当在进行操作时，使用者可通过外部机构将所需覆膜的工件放置在定位槽的内部，随后启动支撑电机，此时支撑电机能通过齿形皮带轮带动齿形皮带进行间歇性运动，从而方便后续对工件进行快速的覆膜，同时在进行更换工件时，密封挡板内部的多组密封卡槽能与密封卡条配合，进而使得齿形皮带在进行运动时支撑机构内部始终保持密封状态，提高了进行覆膜的稳定性。