[实用新型]连续型纳米薄膜制备用气相沉积设备

说明书

本实用新型公开连续型纳米薄膜制备用气相沉积设备，包括导气机构、密封卡条、齿形皮带轮、齿形皮带、定位槽和支撑机构，所述支撑机构的上端面滑动卡接有导气机构，且位于所述支撑机构的内端面对称转动卡接有齿形皮带轮。本实用新型当在进行操作时，使用者可通过外部机构将所需覆膜的工件放置在定位槽的内部，随后启动支撑电机，此时支撑电机能通过齿形皮带轮带动齿形皮带进行间歇性运动，从而方便后续对工件进行快速的覆膜，同时在进行更换工件时，密封挡板内部的多组密封卡槽能与密封卡条配合，进而使得齿形皮带在进行运动时支撑机构内部始终保持密封状态，提高了进行覆膜的稳定性。

技术领域

本实用新型涉及化工设备技术领域，具体为连续型纳米薄膜制备用气相沉积设备。

背景技术

化学气相淀积，是指把含有构成薄膜元素的气态反应剂或液态反应剂的蒸气及反应所需其它气体引入反应室，在衬底表面发生化学反应生成薄膜的过程，但是现有的常温沉积室，在对工件进行聚合沉积时，其对沉积后的工件不能快速的更换，降低了装置的连续性，所以急需连续型纳米薄膜制备用气相沉积设备来解决上述存在的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供连续型纳米薄膜制备用气相沉积设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：连续型纳米薄膜制备用气相沉积设备，包括导气机构、密封卡条、齿形皮带轮、齿形皮带、定位槽和支撑机构，

所述支撑机构的上端面滑动卡接有导气机构，且位于所述支撑机构的内端面对称转动卡接有齿形皮带轮，且位于所述齿形皮带轮的外端面转动啮合连接有齿形皮带，所述齿形皮带的外端面均匀等距开设有用于定位的定位槽，且位于相邻两组所述定位槽之间固定连接有密封卡条。

优选的，所述导气机构包括螺纹套筒、连接齿轮和导气杆，所述螺纹套筒的底端面转动套接有用于传动的连接齿轮，且位于所述螺纹套筒的底端面中心处固定连接有导气杆，螺纹套筒能方便与外部供应气体的管道进行连接，方便后续覆膜气体的供应。

优选的，所述支撑机构包括固定板、固定壳体、固定电机、传动齿轮、导向杆、密封卡环和支撑电机，所述固定壳体的上端面中心处固定连接有密封卡环，且位于所述固定壳体的上端面靠近所述密封卡环处对称固定连接有导向杆，所述固定壳体的上端面正对于所述密封卡环处固定连接有固定电机，且位于所述固定电机的上端面中心处固定安装有传动齿轮，所述固定壳体的侧端面对称固定卡接有用于支撑的固定板，且位于所述固定板的侧端面固定卡接有支撑电机，导向杆能方便后续对螺纹套筒的外部进行快速的限位，进而提高了后续对导气机构进行高度调节的稳定性，且密封卡环能有效保证在进行调节的密封性。

优选的，所述固定壳体的侧端面中心处固定连接有密封挡板，且位于所述密封挡板的内端面均匀等距对称开设有密封卡槽，所述密封卡槽与密封卡条相适配弹性密封卡接，密封卡槽共设有多组，故当齿形皮带在密封挡板内部运动时，始终存在密封卡槽与密封卡条进行密封卡接，进而有效保证了支撑机构内部的气密性。

优选的，所述连接齿轮的底端面固定连接有密封卡板，且位于所述密封卡环的上端面开设有密封槽，所述密封卡板与密封槽相适配密封转动卡接，所述连接齿轮与传动齿轮啮合转动连接，密封卡板能与密封槽适配，从而最大程度的提高了后续再调节导气机构的高度时，支撑机构内部的密封性。

优选的，所述螺纹套筒的顶端面对称固定连接有连接板，且所述连接板的上端面中心处开设有槽体，所述槽体与导向杆相适配滑动卡接，能对螺纹套筒的外部进行限位，从而提高了后续导气机构在支撑机构上部进行上下位移的稳定性。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：