[实用新型]一种半导体检测用可水平调节的椭偏仪

摘要

本实用新型公开了一种半导体检测用可水平调节的椭偏仪，包括底板，所述底板顶部的前侧固定连接有连接座，所述连接座的顶部固定连接有支撑座，所述支撑座的顶部固定连接有承载台，所述底板顶部的两侧分别固定连接有左侧板和右侧板。本实用新型通过伺服电机带动转轴转动，通过转轴带动丝杆转动，丝杆的转动使丝杆母移动，通过丝杆母的移动带动连接板移动，连接板带动导向套在滑柱表面进行滑动，通过导向套的移动带动椭偏仪本体进行移动，达到了可水平调节的优点，解决了现有的椭偏仪在使用时不具备水平调节的功能，往往椭偏仪的位置都是固定的，以至于无法满足不同水平距离的测量，因此不便于人们使用的问题。