[实用新型]一种半导体检测用可水平调节的椭偏仪

权利要求书

1.一种半导体检测用可水平调节的椭偏仪，包括底板（1），其特征在于：所述底板（1）顶部的前侧固定连接有连接座（5），所述连接座（5）的顶部固定连接有支撑座（10），所述支撑座（10）的顶部固定连接有承载台（9），所述底板（1）顶部的两侧分别固定连接有左侧板（8）和右侧板（11），所述右侧板（11）右侧的背侧固定连接有伺服电机（12），所述伺服电机（12）的输出端固定连接有转轴（16），所述转轴（16）的左侧固定连接有丝杆（14），所述丝杆（14）的左侧贯穿至右侧板（11）的左侧，所述丝杆（14）的表面螺纹连接有丝杆母（15），所述丝杆母（15）的前侧安装有导向套（4），所述导向套（4）的顶部固定连接有椭偏仪本体（7），所述导向套（4）的内腔活动连接有滑柱（3）。

2.根据权利要求1所述的一种半导体检测用可水平调节的椭偏仪，其特征在于：所述滑柱（3）的两端分别与左侧板（8）的右侧和右侧板（11）的左侧固定连接，所述导向套（4）的内腔开设有导向孔（18），所述导向孔（18）的内壁与导向套（4）的内腔活动连接。

3.根据权利要求1所述的一种半导体检测用可水平调节的椭偏仪，其特征在于：所述导向套（4）的底部固定连接有滑板（6），所述底板（1）的顶部开设有导向槽（2），所述滑板（6）的底部贯穿至导向槽（2）的内腔并与导向槽（2）的内壁呈滑动连接。

4.根据权利要求1所述的一种半导体检测用可水平调节的椭偏仪，其特征在于：所述丝杆母（15）的前侧固定连接有连接板（17），所述连接板（17）的前侧与导向套（4）的背侧固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种半导体检测用可水平调节的椭偏仪，其特征在于：所述左侧板（8）右侧的顶部嵌入有轴承座（13），所述丝杆（14）的左侧贯穿至轴承座（13）的内腔并与轴承座（13）活动连接。