[实用新型]一种半导体检测用可水平调节的椭偏仪

说明书

本实用新型公开了一种半导体检测用可水平调节的椭偏仪，包括底板，所述底板顶部的前侧固定连接有连接座，所述连接座的顶部固定连接有支撑座，所述支撑座的顶部固定连接有承载台，所述底板顶部的两侧分别固定连接有左侧板和右侧板。本实用新型通过伺服电机带动转轴转动，通过转轴带动丝杆转动，丝杆的转动使丝杆母移动，通过丝杆母的移动带动连接板移动，连接板带动导向套在滑柱表面进行滑动，通过导向套的移动带动椭偏仪本体进行移动，达到了可水平调节的优点，解决了现有的椭偏仪在使用时不具备水平调节的功能，往往椭偏仪的位置都是固定的，以至于无法满足不同水平距离的测量，因此不便于人们使用的问题。

技术领域

本实用新型涉及椭偏仪技术领域，具体为一种半导体检测用可水平调节的椭偏仪。

背景技术

椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器，由于测量精度高，适用于超薄膜，与样品非接触，对样品没有破坏且不需要真空，使得椭偏仪成为一种极具吸引力的测量仪器，而现有的椭偏仪在使用时不具备水平调节的功能，往往椭偏仪的位置都是固定的，以至于无法满足不同水平距离的测量，因此不便于人们使用。

实用新型内容

（一）解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种半导体检测用可水平调节的椭偏仪，具备可水平调节的优点，解决了现有的椭偏仪在使用时不具备水平调节的功能，往往椭偏仪的位置都是固定的，以至于无法满足不同水平距离的测量，因此不便于人们使用的问题。

（二）技术方案

为实现上述水平调节的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体检测用可水平调节的椭偏仪，包括底板，所述底板顶部的前侧固定连接有连接座，所述连接座的顶部固定连接有支撑座，所述支撑座的顶部固定连接有承载台，所述底板顶部的两侧分别固定连接有左侧板和右侧板，所述右侧板右侧的背侧固定连接有伺服电机，所述伺服电机的输出端固定连接有转轴，所述转轴的左侧固定连接有丝杆，所述丝杆的左侧贯穿至右侧板的左侧，所述丝杆的表面螺纹连接有丝杆母，所述丝杆母的前侧安装有导向套，所述导向套的顶部固定连接有椭偏仪本体，所述导向套的内腔活动连接有滑柱。

优选的，所述滑柱的两端分别与左侧板的右侧和右侧板的左侧固定连接，所述导向套的内腔开设有导向孔，所述导向孔的内壁与导向套的内腔活动连接。

优选的，所述导向套的底部固定连接有滑板，所述底板的顶部开设有导向槽，所述滑板的底部贯穿至导向槽的内腔并与导向槽的内壁呈滑动连接。

优选的，所述丝杆母的前侧固定连接有连接板，所述连接板的前侧与导向套的背侧固定连接。

优选的，所述左侧板右侧的顶部嵌入有轴承座，所述丝杆的左侧贯穿至轴承座的内腔并与轴承座活动连接。

（三）有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种半导体检测用可水平调节的椭偏仪，具备以下有益效果：

1、本实用新型通过伺服电机带动转轴转动，通过转轴带动丝杆转动，丝杆的转动使丝杆母移动，通过丝杆母的移动带动连接板移动，连接板带动导向套在滑柱表面进行滑动，通过导向套的移动带动椭偏仪本体进行移动，达到了可水平调节的优点，解决了现有的椭偏仪在使用时不具备水平调节的功能，往往椭偏仪的位置都是固定的，以至于无法满足不同水平距离的测量，因此不便于人们使用的问题。

2、本实用新型通过轴承座，使丝杆在左侧板内转动更加顺畅，减少了丝杆与左侧板之间的摩擦力，从而延长了丝杆的使用寿命。

3、本实用新型通过导向槽，对滑板移动位置起到导向的效果，进一步的对导向套移动过程中起到支撑的效果。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型底板结构的俯视图；