[实用新型]坩埚装置及具有其的蒸镀机有效
| 申请号： | 202021613534.9 | 申请日： | 2020-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN212293732U | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | 许康 | 申请（专利权）人： | 聚灿光电科技（宿迁）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 | 代理人： | 郭红岩 |
| 地址： | 223800 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型揭示了一种坩埚装置及具有其的蒸镀机。坩埚装置包括坩埚，坩埚上设置有反应容器；坩埚装置还包括：旋转台，旋转台上设置有复数个原料容器，旋转台可绕其中心轴为转轴旋转，复数个原料容器围绕旋转台的中心轴圆周分布，原料容器上设置有补料口；上料机构，上料机构包括上料通道，上料通道的一端可选择地与补料口配合，上料通道的另一端与反应容器连通。蒸镀机包括蒸镀腔、设置于蒸镀腔内的电子枪和坩埚装置。本实用新型通过上料机构将旋转台上的原料引入反应容器内，使补充原料操作简单，提升了工作效率，补充原料时不需要打开蒸镀腔，进一步提升了补充原料的便捷程度，而且本实用新型可以向反应容器内填充不同材质的原料。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 装置 具有 蒸镀机 | ||
【主权项】：
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