[实用新型]含光刻胶的显影液的浓度调节装置有效
| 申请号： | 202021600756.7 | 申请日： | 2020-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN212658943U | 公开（公告）日： | 2021-03-05 |
| 发明（设计）人： | 金太周 | 申请（专利权）人： | 上海三盼半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;G03F7/32 |
| 代理公司： | 上海世圆知识产权代理有限公司 31320 | 代理人： | 陈颖洁;王佳妮 |
| 地址： | 201612 上海市松*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型的一种含光刻胶的显影液的浓度调节装置，包括：显影机储罐；显影机储罐具有超纯水供应管路、原液（TMAH 25%）供应管路和标准液（TMAH 2.38%~2.58%）供应管路，各管路上分别设有流量计和阀门；显影机储罐还具有由出口管路、前管路、浓度测量管路、回流管路以及与浓度测量管路并联的浊度测量管路共同组成的循环管路，出口管路与显影机储罐底部的出液口相连接，在出口管路上设有取样泵；浓度测量管路上设有流量计和浓度计；浊度测量管路上设有浊度计。本实用新型可直接对显影液浓度进行管控，实时对回收的显影液浓度进行检查并管控，使显影液回收再生系统得到有效利用，大幅减少废液的产生和新显影液的投入。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 显影液 浓度 调节 装置 | ||
【主权项】：
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