[实用新型]含光刻胶的显影液的浓度调节装置

权利要求书

1.一种含光刻胶的显影液的浓度调节装置，其特征在于，主要包括：显影机储罐（1）；所述显影机储罐（1）具有超纯水供应管路（L9）、原液供应管路（L10）和标准液供应管路（L11）；所述超纯水供应管路（L9）上设有第二流量计（4b）和第一阀门（S6），所述原液供应管路（L10）上设有第三流量计（4c）和第二阀门（S7），所述标准液供应管路（L11）上设有第四流量计（4d）和第四阀门（S9）；

所述显影机储罐（1）还具有由出口管路（L1）、前管路（L2）、浓度测量管路（L3）、回流管路（L5）以及与所述浓度测量管路（L3）并联的浊度测量管路（L4）共同组成的循环管路（L1～L5），所述出口管路（L1）与所述显影机储罐（1）底部的出液口相连接，在所述出口管路（L1）上设有取样泵（2a）；所述浓度测量管路（L3）上设有第一流量计（4a）和浓度计（5）；所述浊度测量管路（L4）上设有浊度计（6）。

2.根据权利要求1所述的含光刻胶的显影液的浓度调节装置，其特征在于，所述浓度计（5）是利用电导率和超声波测量显影液浓度，将测出的浓度值输出给控制单元的部件；所述浊度计（6）是测量显影液里所含的光刻胶的吸光度，输出给控制单元的部件。

3.根据权利要求1所述的含光刻胶的显影液的浓度调节装置，其特征在于，所述循环管路（L1～L5）上还设有一条与所述管路（L1）并联的备用管路（L6），其上设有备用取样泵（2b）。

4.根据权利要求3所述的含光刻胶的显影液的浓度调节装置，其特征在于，所述取样泵（2a）和所述备用取样泵（2b）为变频泵。

5.根据权利要求1所述的含光刻胶的显影液的浓度调节装置，其特征在于，所述管路（L1）上还连接有旁通管（L7），其上设有手动隔膜阀门（V1）。

6.根据权利要求1所述的含光刻胶的显影液的浓度调节装置，其特征在于，所述标准液供应管路（L11）上，还连接有供应再生显影液的再生液供应管（L12）；所述再生液供应管（L12）上设有第三阀门（S8），所述第三阀门（S8）和所述第四阀门（S9）始终只可选择打开同时其中一个阀门。

7.根据权利要求1所述的含光刻胶的显影液的浓度调节装置，其特征在于，在所述循环管路（L1～L5）上，在显影液通过上述浓度计（5）和浊度计（6）之前，还设有除气泡器（3）。

8.根据权利要求7所述的含光刻胶的显影液的浓度调节装置，其特征在于，所述除气泡器（3）为过滤器，其上与真空泵（7）相连接。

9.根据权利要求1所述的含光刻胶的显影液的浓度调节装置，其特征在于，所述标准液供应管路（L11）上还分出一根分支管路（L8）及设于所述分支管路（L8）上的阀门（S5）。