[实用新型]含光刻胶的显影液的浓度调节装置

说明书

本实用新型的一种含光刻胶的显影液的浓度调节装置，包括：显影机储罐；显影机储罐具有超纯水供应管路、原液（TMAH 25%）供应管路和标准液（TMAH 2.38%~2.58%）供应管路，各管路上分别设有流量计和阀门；显影机储罐还具有由出口管路、前管路、浓度测量管路、回流管路以及与浓度测量管路并联的浊度测量管路共同组成的循环管路，出口管路与显影机储罐底部的出液口相连接，在出口管路上设有取样泵；浓度测量管路上设有流量计和浓度计；浊度测量管路上设有浊度计。本实用新型可直接对显影液浓度进行管控，实时对回收的显影液浓度进行检查并管控，使显影液回收再生系统得到有效利用，大幅减少废液的产生和新显影液的投入。

技术领域

本实用新型属于TFT-LCD光刻技术领域，具体涉及一种含光刻胶的显影液的浓度调节装置。

背景技术

液晶面板生产工厂适用碱性溶液四甲基氢氧化铵（Tetra-methyl ammoniumhydroxide，TMAH)，此碱性溶液在显影过程中，起溶解光刻胶的作用。

实际显影工程上显影液使用方式有喷射方式浸渍渗透方式，随着面板大型化，光刻胶的浓度和碳酸盐浓度也跟着引起重视。

在显影过程中，两种方式都会与大气接触，显影液与空气接触后会吸收空气中的(CO₂)气体生成碳酸盐(CO₃^2-)，而碳酸盐(CO₃^2-)会降低TMAH的浓度；浓度降低的TMAH会对光刻胶的溶解性能降低，会导致面板的线宽会变粗，如果将浓度降低的显影液当做废液处理，由于废液量大，处理的成本会增加，同时因需要补充新液造成制造成本增加。

为了调节显影液浓度需对显影液浓度进行实时测量，显影液里含光刻胶或者碳酸盐时，TMAH的浓度只能通过中和滴定法进行测量。但是，利用中和滴定法测量TMAH的浓度时，会有耗时长导致无法实时控制显影液浓度的缺点。因此，为了保持面板的规定线宽，需要开发测量显影液内光刻胶浓度和碳酸盐浓度来管理显影液浓度的装置。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种含光刻胶的显影液的浓度调节装置，

一种含光刻胶的显影液的浓度调节装置，其特征在于，主要包括：显影机储罐，作为收集槽收集显影后回流的显影液，并管控显影液温度和显影液容量；所述显影机储罐具有向其供应超纯水的超纯水供应管路、向其供应显影液原液（TMAH 25%）的原液（TMAH 25%）供应管路和向其供应标准浓度显影液的标准液（TMAH 2.38%~2.58%）供应管路；所述超纯水供应管路上设有第二流量计和第一阀门，所述原液（TMAH 25%）供应管路上设有第三流量计和第二阀门，所述标准液（TMAH 2.38%~2.58%）供应管路上设有第四流量计和第四阀门；

所述显影机储罐还具有由出口管路、前管路、浓度测量管路、回流管路以及与所述浓度测量管路并联的浊度测量管路共同组成的循环管路，所述出口管路与所述显影机储罐底部的出液口相连接，在所述出口管路上设有取样泵；所述浓度测量管路上设有第一流量计和浓度计；所述浊度测量管路上设有浊度计；该循环管路用于将显影机储罐内的显影液输送到测量碳酸盐浓度的浓度计和测量吸光度的浊度计，然后从管路回流到显影机储罐中。

本实用新型的含光刻胶的显影液的浓度调节装置，通过TMAH浓度为25%的显影液原液（TMAH 25%）、超纯水、TMAH浓度为2.38%～2.58%的标准浓度显影液来管理显影液浓度，其中显影液原液（TMAH 25%）和超纯水可直接对显影液浓度进行管控；通过对使用过的显影液浓度进行测量，可实时对回收的显影液浓度进行检查并管控，当碳酸盐浓度或者光刻胶积累到一定程度时，显影效果显著降低，此时注入不含碳酸盐或者光刻胶的标准浓度显影液，调节显影液的碳酸盐或者光刻胶的浓度使其恢复到正常浓度；在显影过程中，可使显影液回收再生系统得到有效利用，并且使显影过程中涂布在基板上的显影液回收至供应储罐，大幅减少废液的产生，并对回收的显影液直接进行浓度管控，大幅减少了新显影液（标准浓度显影液）的投入。