[实用新型]一种单晶炉用换热系统及单晶炉有效
申请号: | 202021573975.0 | 申请日: | 2020-07-31 |
公开(公告)号: | CN212451737U | 公开(公告)日: | 2021-02-02 |
发明(设计)人: | 马少林;邓浩;付泽华;马宝;丁彪;王建波 | 申请(专利权)人: | 隆基绿能科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人: | 赵娟 |
地址: | 710100 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种单晶炉用换热系统及单晶炉,涉及单晶硅制造技术领域。单晶炉用换热系统包括:换热装置、导流筒以及导热件;所述导热件设置在所述换热装置的底部,设置有所述导热件的换热装置套设在所述导流筒内;所述导热件包括相对设置的上表面和下表面,所述导热件的上表面与所述换热装置的底部接触;所述导热件的上表面、以及所述换热装置的底部,位于所述导流筒的底部远离熔硅液面的一侧。导热件靠近熔硅液面,通过导热件可以快速将熔硅液面的热量传导至换热装置,由换热装置的冷却介质带走,增加了纵向温度梯度,提高了拉晶速度,节省拉晶时间。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶炉用换热 系统 单晶炉 | ||
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