[实用新型]一种单晶炉用换热系统及单晶炉

权利要求书

1.一种单晶炉用换热系统，其特征在于，包括：换热装置、导流筒以及导热件；所述导热件设置在所述换热装置的底部，设置有所述导热件的换热装置套设在所述导流筒内；

所述导热件包括相对设置的上表面和下表面，所述导热件的上表面与所述换热装置的底部接触；

所述导热件的上表面、以及所述换热装置的底部，位于所述导流筒的底部远离熔硅液面的一侧。

2.根据权利要求1所述的单晶炉用换热系统，其特征在于，所述换热装置、所述导流筒及所述导热件相互紧密贴合。

3.根据权利要求1所述的单晶炉用换热系统，其特征在于，所述导热件的上表面和下表面与所述导热件的中心轴线垂直。

4.根据权利要求1所述的单晶炉用换热系统，其特征在于，所述换热装置的底部具有至少一个连接杆，所述导热件具有至少一个与所述连接杆配合的通孔，所述换热装置的连接杆穿设在所述导热件的通孔中。

5.根据权利要求4所述的单晶炉用换热系统，其特征在于，所述连接杆的外表面具有螺纹，所述单晶炉用换热系统还包括：与所述螺纹配合的螺母，所述螺母位于所述导热件远离所述换热装置的一侧，且所述螺母的中心线与所述通孔的中心线重合。

6.根据权利要求4所述的单晶炉用换热系统，其特征在于，所述连接杆在所述换热装置的底部均匀分布。

7.根据权利要求4所述的单晶炉用换热系统，其特征在于，所述换热装置的连接杆穿设在所述导热件的通孔中之后，所述连接杆的底部与所述通孔的底部平齐。

8.根据权利要求1-7中任一所述的单晶炉用换热系统，其特征在于，所述导热件的厚度为1-20mm。

9.根据权利要求1-7中任一所述的单晶炉用换热系统，其特征在于，所述导热件包括相对设置的内壁和外壁，所述导热件的内壁靠近所述导热件的中心轴线，所述导热件的内壁上设置有至少一个第一凸起结构。

10.根据权利要求9所述的单晶炉用换热系统，其特征在于，所述换热装置包括相对设置的内壁和外壁，所述换热装置的内壁靠近所述换热装置的中心轴线；所述导热件的内壁与所述换热装置的中心轴线之间的距离，小于或等于所述换热装置的内壁与所述换热装置的中心轴线之间的距离。

11.根据权利要求9所述的单晶炉用换热系统，其特征在于，所述导流筒包括内壁和外壁，所述导流筒的内壁靠近所述导流筒的中心轴线；所述导流筒的外壁与熔硅液面之间的距离，小于所述导流筒的内壁与熔硅液面之间的距离；

所述导流筒外壁的底部和所述导热件的外壁相互配合。

12.根据权利要求11所述的单晶炉用换热系统，其特征在于，所述导流筒外壁的底部为斜面。

13.根据权利要求1-7中任一所述的单晶炉用换热系统，其特征在于，所述换热装置的底部与熔硅液面平行；所述导热件的上表面和下表面均与所述换热装置的底部平行。

14.根据权利要求10所述的单晶炉用换热系统，其特征在于，所述换热装置的内壁上设置有至少一个第二凸起结构；所述第二凸起结构的凸起方向朝向所述换热装置的中心轴线。

15.一种单晶炉，其特征在于，包括坩埚与权利要求1-14中任一项所述的单晶炉用换热系统；

所述单晶炉用换热系统设置于坩埚的上方。

16.根据权利要求15所述的单晶炉，其特征在于，在拉晶过程中，所述导热件的下表面与熔硅液面之间的距离为15-20mm。