[实用新型]一种单晶炉用换热系统及单晶炉

说明书

本实用新型提供了一种单晶炉用换热系统及单晶炉，涉及单晶硅制造技术领域。单晶炉用换热系统包括：换热装置、导流筒以及导热件；所述导热件设置在所述换热装置的底部，设置有所述导热件的换热装置套设在所述导流筒内；所述导热件包括相对设置的上表面和下表面，所述导热件的上表面与所述换热装置的底部接触；所述导热件的上表面、以及所述换热装置的底部，位于所述导流筒的底部远离熔硅液面的一侧。导热件靠近熔硅液面，通过导热件可以快速将熔硅液面的热量传导至换热装置，由换热装置的冷却介质带走，增加了纵向温度梯度，提高了拉晶速度，节省拉晶时间。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅制造技术领域，特别是涉及一种单晶炉用换热系统及单晶炉。

背景技术

现有技术中，通过在晶体生长界面上方设置围绕单晶硅棒的导流筒，并用工作气体沿导流筒内侧进入单晶硅棒的提拉通道、吹扫该界面，以带走结晶潜热。

大直径的单晶硅棒能够切割得到较大尺寸的单晶硅片，因此具有广阔的应用前景。但是，随着单晶硅棒直径的增大，拉晶过程中对结晶潜热的吸收有更高的要求，需要及时散发结晶潜热，以提供更大的纵向温度梯度，进而保障较高的生长速度。

然而，大直径单晶硅棒的拉制过程中，坩埚中熔硅液面露出的面积较大，现有技术对于大直径的单晶硅棒的吸热效果有限，不利于提供优化的纵向温度梯度，限制了大直径单晶硅棒生长速度的进一步提升。

实用新型内容

本实用新型提供一种单晶炉用换热系统及单晶炉，旨在提升大直径单晶硅棒的生长速度。

第一方面，本实用新型实施例提供了一种单晶炉用换热系统，包括：换热装置、导流筒以及导热件；所述导热件设置在所述换热装置的底部，设置有所述导热件的换热装置套设在所述导流筒内；

所述导热件包括相对设置的上表面和下表面，所述导热件的上表面与所述换热装置的底部接触；

所述导热件的上表面、以及所述换热装置的底部，位于所述导流筒的底部远离熔硅液面的一侧。

可选的，所述换热装置、所述导流筒、所述导热件相互紧密贴合。

可选的，所述导热件的上表面和下表面与所述导热件的中心轴线垂直。

可选的，所述换热装置的底部具有至少一个连接杆，所述导热件具有至少一个与所述连接杆配合的通孔，所述换热装置的连接杆穿设在所述导热件的通孔中。

可选的，所述换热装置与所述连接杆一体成型，或，所述连接杆粘接或焊接在所述换热装置的底部。

可选的，所述连接杆的外表面具有螺纹，所述单晶炉用换热系统还包括：与所述螺纹配合的螺母，所述螺母位于所述导热件远离所述换热装置的一侧，且所述螺母的中心线与所述通孔的中心线重合。

可选的，所述连接杆在所述换热装置的底部均匀分布。

可选的，所述换热装置的连接杆穿设在所述导热件的通孔中之后，所述连接杆的底部与所述通孔的底部平齐。

可选的，所述导热件的厚度为1-20mm。

可选的，所述导热件包括相对设置的内壁和外壁，所述导热件的内壁靠近所述导热件的中心轴线，所述导热件的内壁上设置有至少一个第一凸起结构。

可选的，所述换热装置包括相对设置的内壁和外壁，所述换热装置的内壁靠近所述换热装置的中心轴线；所述导热件的内壁与所述换热装置的中心轴线之间的距离，小于或等于所述换热装置的内壁与所述换热装置的中心轴线之间的距离。

可选的，所述导流筒包括内壁和外壁，所述导流筒的内壁靠近所述导流筒的中心轴线；所述导流筒的外壁与熔硅液面之间的距离，小于所述导流筒的内壁与熔硅液面之间的距离；

所述导流筒外壁的底部和所述导热件的外壁相互配合。