[实用新型]ACT6或8寸兼容陶瓷手臂有效
| 申请号： | 202021538898.5 | 申请日： | 2020-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN212795003U | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 程焕鹏 | 申请（专利权）人： | 上海图双精密装备有限公司 |
| 主分类号： | B25J15/06 | 分类号： | B25J15/06;B25J15/00 |
| 代理公司： | 上海汇齐专利代理事务所(普通合伙) 31364 | 代理人： | 童强 |
| 地址： | 200000 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了ACT6或8寸兼容陶瓷手臂，包括安装板，所述安装板的下端转动连接有转动柱，所述转动柱上安装有旋转机构，所述转动柱的下端固定有连接板，所述连接板的下端设有两个安装槽，所述安装槽内通过角度调节机构连接有陶瓷手臂，所述陶瓷手臂内设有圆腔，所述圆腔内设置有缓冲机构，所述陶瓷手臂的下端设有与缓冲机构连接的吸附板，所述吸附板内设有吸附机构。本实用新型结构合理，其采用真空吸附的形式能够兼容6寸以及8寸晶圆的吸附，大大提高了传输的高效性。 | ||
| 搜索关键词： | act6 兼容 陶瓷 手臂 | ||
【主权项】：
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