[实用新型]ACT6或8寸兼容陶瓷手臂

说明书

本实用新型公开了ACT6或8寸兼容陶瓷手臂，包括安装板，所述安装板的下端转动连接有转动柱，所述转动柱上安装有旋转机构，所述转动柱的下端固定有连接板，所述连接板的下端设有两个安装槽，所述安装槽内通过角度调节机构连接有陶瓷手臂，所述陶瓷手臂内设有圆腔，所述圆腔内设置有缓冲机构，所述陶瓷手臂的下端设有与缓冲机构连接的吸附板，所述吸附板内设有吸附机构。本实用新型结构合理，其采用真空吸附的形式能够兼容6寸以及8寸晶圆的吸附，大大提高了传输的高效性。

技术领域

本实用新型涉及陶瓷手臂技术领域，尤其涉及ACT6或8寸兼容陶瓷手臂。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。ATC系统是晶圆重要的生产系统，系统中需要使用陶瓷手臂对晶圆进行传输。

但是现有的陶瓷手臂无法满足高效的传输，并且大多采用夹持的手段，此种方式容易损坏晶圆，且对6寸以及8寸的晶圆夹持过程中的适应性较差。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的ACT6或8寸兼容陶瓷手臂，其采用真空吸附的形式能够兼容6寸以及8寸晶圆的吸附，大大提高了传输的高效性。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

ACT6或8寸兼容陶瓷手臂，包括安装板，所述安装板的下端转动连接有转动柱，所述转动柱上安装有旋转机构，所述转动柱的下端固定有连接板，所述连接板的下端设有两个安装槽，所述安装槽内通过角度调节机构连接有陶瓷手臂，所述陶瓷手臂内设有圆腔，所述圆腔内设置有缓冲机构，所述陶瓷手臂的下端设有与缓冲机构连接的吸附板，所述吸附板内设有吸附机构。

优选地，所述旋转机构包括安装在安装板下端的电机，所述电机的输出轴末端固定有第一齿轮，所述转动柱的外壁固定有与第一齿轮啮合的第二齿轮。

优选地，所述角度调节机构包括安装在连接板侧壁上的液压油缸，所述液压油缸的伸缩末端延伸至安装槽内并固定有齿条，所述安装槽内转动连接有转轴，所述转轴贯穿陶瓷手臂并与其固定连接，所述转轴的外壁固定有与齿条啮合的第三齿轮。

优选地，所述缓冲机构包括设置在圆腔内的抵板，所述抵板的上端与圆腔的内顶部间通过弹簧弹性连接，所述抵板的下端固定有贯穿圆腔的连接管，所述连接管与吸附板上端固定。

优选地，所述吸附机构包括设置在吸附板内的负压腔，所述吸附板的底部粘接有硅胶垫，所述硅胶垫上均布有多个与负压腔连通的吸附孔，所述连接管连接有吸气管，所述吸附板的外侧底部设有扩大机构。

优选地，所述扩大机构包括设置在吸附板内的多根环形管，多根所述环形管间相互连通并通过主管与负压腔连通，所述主管内安装有电磁阀，所述硅胶垫的外围底部设有多个与环形管连通的吸气孔。

本实用新型与现有技术相比，其有益效果为：

1、通过设置吸附机构以及扩大机构，能够利用真空负压吸附的形式，快速的吸附住晶圆，并且能够兼容6寸与8寸晶圆的吸附。

2、通过设置缓冲机构与硅胶垫，能够在吸附过程中最大化的保护晶圆不被损坏。

3、通过设置角度调节机构与旋转机构，能够根据传输位置快速实现角度调节，并且采用双陶瓷手臂的形式大大提高传输效率。

附图说明

图1为本实用新型提出的ACT6或8寸兼容陶瓷手臂的结构示意图；

图2为本实用新型提出的ACT6或8寸兼容陶瓷手臂的侧面示意图；

图3为本实用新型提出的ACT6或8寸兼容陶瓷手臂的A处结构放大示意图。