[实用新型]一种晶圆固定装置及晶圆清洁系统

摘要

本实用新型公开了一种晶圆固定装置及晶圆清洁系统，包括底座、旋转台和真空发生装置；所述旋转台可转动的设置在所述底座上；所述旋转台上设有多个连通的导气槽和凸台；所述导气槽与所述真空发生装置连通，晶圆设置在所述凸台上，所述真空发生装置通过在所述导气槽中产生吸附气流，将所述晶圆固定在所述凸台上，通过真空吸附方式将晶圆吸附在旋转台上，避免了人工的接触，从而避免晶圆发生裂片和表面被沾污，同时也能处理晶圆背面的水分，并进行收集处理，保证了晶圆避免水分干燥的全面性，通过旋转台的设置，可以提高晶圆表面的清洁率，减少了人工的操作，避免了对晶圆的接触，提高了晶圆的良率。