[实用新型]一种单晶炉炉底加热器有效

专利信息
申请号: 202021521810.9 申请日: 2020-07-28
公开(公告)号: CN212713851U 公开(公告)日: 2021-03-16
发明(设计)人: 郑伟扬;王思锋 申请(专利权)人: 宁夏协鑫晶体科技发展有限公司
主分类号: C30B35/00 分类号: C30B35/00;H05B3/03;H05B3/64
代理公司: 江苏圣典律师事务所 32237 代理人: 徐芝强;肖明芳
地址: 755099 宁*** 国省代码: 宁夏;64
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摘要: 实用新型公开了一种单晶炉炉底加热器,包括发热体、加热器脚板以及电极固定板;所述发热体为环形,其两侧与加热器脚板一体成型;所述加热器脚板为一对,分别位于发热体相对的两侧;所述电极固定板为一对,分别与发热体两侧的加热器脚板可拆卸地连接。该单晶炉炉底加热器通过电极固定板在加热器脚板上的远近安装,实现电极距可调,从而满足不同电极距炉型的使用需求;通过电极固定板与加热器脚板的可拆卸安装方式,实现电极固定板与发热区分离,部件损坏后可仅更换损坏部件降低石墨件成本;加热器的发热体整体为圆形设计,可满足主加与底加任意角度匹配安装。
搜索关键词: 一种 单晶炉炉底 加热器
【主权项】:
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