[实用新型]一种单晶炉炉底加热器有效
申请号: | 202021521810.9 | 申请日: | 2020-07-28 |
公开(公告)号: | CN212713851U | 公开(公告)日: | 2021-03-16 |
发明(设计)人: | 郑伟扬;王思锋 | 申请(专利权)人: | 宁夏协鑫晶体科技发展有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;H05B3/03;H05B3/64 |
代理公司: | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人: | 徐芝强;肖明芳 |
地址: | 755099 宁*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶炉炉底 加热器 | ||
本实用新型公开了一种单晶炉炉底加热器,包括发热体、加热器脚板以及电极固定板;所述发热体为环形,其两侧与加热器脚板一体成型;所述加热器脚板为一对,分别位于发热体相对的两侧;所述电极固定板为一对,分别与发热体两侧的加热器脚板可拆卸地连接。该单晶炉炉底加热器通过电极固定板在加热器脚板上的远近安装,实现电极距可调,从而满足不同电极距炉型的使用需求;通过电极固定板与加热器脚板的可拆卸安装方式,实现电极固定板与发热区分离,部件损坏后可仅更换损坏部件降低石墨件成本;加热器的发热体整体为圆形设计,可满足主加与底加任意角度匹配安装。
技术领域
本实用新型属于单晶材料制备领域,具体涉及一种单晶炉炉底加热器。
背景技术
同一单晶厂家所使用的单晶炉往往是多个型号,炉型不同底加电极中心距,偏转角度也会不同,因此不同炉型需配置不同的底加热器,各炉型底加不具有通用性,只能单独采购,增加了后期采购成本及管理难度。同时,一体式结构设计损坏后整体报废,使用成本高。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术的不足,提供一种能够适用于不同电极距炉型的新型单晶炉炉底加热器,实现不同炉型炉底加热器统一,降低后期采购及管理成本。
为了实现上述目的,本实用新型采取的技术方案如下:
一种单晶炉炉底加热器,包括发热体、加热器脚板以及电极固定板;
所述发热体为环形,其两侧与加热器脚板一体成型;
所述加热器脚板为一对,分别位于发热体相对的两侧;
所述电极固定板为一对,分别与发热体两侧的加热器脚板可拆卸地连接。
具体地,所述电极固定板上设有用于安装加热器脚板的卡槽;加热器脚板上设有一组连接孔,卡槽上设有对应的贯穿孔;所述加热器脚板卡入电极固定板的卡槽内,并使得卡槽内的贯穿孔与加热器脚板上对应的连接孔对齐,通过碳碳石墨螺栓贯穿后进行固定连接。
优选地,所述加热器脚板为长条形的扁平板,其沿长度方向设置一组连接孔,通过卡槽内的贯穿孔对应远近端不同的连接孔贯穿碳碳石墨螺栓固定,实现电极固定板远近不同距离的调节安装。
具体地,所述电极固定板远离卡槽的一端设有用于固定电极的石墨螺栓孔。
进一步地,所述发热体包括中心的第一发热部和位于两侧的对称设置的第二发热部;所述第一发热部为圆环形,第二发热部由两根以上圆弧形的发热条首尾连接而成,最外侧的发热条外端与加热器脚板一体成型,最内侧的发热条里端与第一发热部一体成型。
有益效果:
本实用新型单晶炉炉底加热器通过电极固定板在加热器脚板上的远近安装,实现电极距可调,从而满足不同电极距炉型的使用需求;通过电极固定板与加热器脚板的可拆卸安装方式,实现电极固定板与发热区分离,部件损坏后可仅更换损坏部件降低石墨件成本;加热器的发热体整体为圆形设计,可满足主加与底加任意角度匹配安装。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型做更进一步的具体说明,本实用新型的上述和/或其他方面的优点将会变得更加清楚。
图1为本实用新型单晶炉炉底加热器的立体结构示意图。
图2为本实用新型单晶炉炉底加热器的俯视结构示意图。
其中,各附图标记分别代表:1发热体;11第一发热部;12第二发热部;13发热条;2加热器脚板;21连接孔;3电极固定板;31卡槽;32石墨螺栓孔;4碳碳石墨螺栓。
具体实施方式
根据下述实施例,可以更好地理解本实用新型。
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