[实用新型]一种单晶炉炉底加热器有效
申请号: | 202021521810.9 | 申请日: | 2020-07-28 |
公开(公告)号: | CN212713851U | 公开(公告)日: | 2021-03-16 |
发明(设计)人: | 郑伟扬;王思锋 | 申请(专利权)人: | 宁夏协鑫晶体科技发展有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;H05B3/03;H05B3/64 |
代理公司: | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人: | 徐芝强;肖明芳 |
地址: | 755099 宁*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶炉炉底 加热器 | ||
1.一种单晶炉炉底加热器,其特征在于,包括发热体(1)、加热器脚板(2)以及电极固定板(3);
所述发热体(1)为环形,其两侧与加热器脚板(2)一体成型;
所述加热器脚板(2)为一对,分别位于发热体(1)相对的两侧;
所述电极固定板(3)为一对,分别与发热体(1)两侧的加热器脚板(2)可拆卸地连接。
2.根据权利要求1所述的单晶炉炉底加热器,其特征在于,所述电极固定板(3)上设有用于安装加热器脚板(2)的卡槽(31);加热器脚板(2)上设有一组连接孔(21),卡槽(31)上设有对应的贯穿孔;所述加热器脚板(2)卡入电极固定板(3)的卡槽(31)内,并使得卡槽(31)内的贯穿孔与加热器脚板(2)上对应的连接孔(21)对齐,通过碳碳石墨螺栓(4)贯穿后进行固定连接。
3.根据权利要求2所述的单晶炉炉底加热器,其特征在于,所述加热器脚板(2)为长条形的扁平板,其沿长度方向设置一组连接孔(21),通过卡槽(31)内的贯穿孔对应远近端不同的连接孔(21)贯穿碳碳石墨螺栓(4)固定,实现电极固定板(3)远近不同距离的调节安装。
4.根据权利要求3所述的单晶炉炉底加热器,其特征在于,所述电极固定板(3)远离卡槽(31)的一端设有用于固定电极的石墨螺栓孔(32)。
5.根据权利要求4所述的单晶炉炉底加热器,其特征在于,所述发热体(1)包括中心的第一发热部(11)和位于两侧的对称设置的第二发热部(12);所述第一发热部(11)为圆环形,第二发热部(12)由两根以上圆弧形的发热条(13)首尾连接而成,最外侧的发热条(13)外端与加热器脚板(2)一体成型,最内侧的发热条(13)里端与第一发热部(11)一体成型。
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