[实用新型]靶材溅射装置

摘要

本实用新型公开了靶材溅射装置，包括底座，所述底座的上端中部固定连接有两个支撑板，两个所述支撑板的右端下部均开有移动口，两个所述支撑板的相对面上部共同固定连接有限位杆，右侧所述支撑板的右端上部穿插活动连接有移动装置，所述底座的上端中部开有滑槽，所述滑槽内滑动连接有放置装置，所述底座的上端左部和上端右部均固定连接有挡板，右侧所述挡板的右端下部穿插固定连接有推动装置。本实用新型所述的靶材溅射装置，通过设置放置装置和推动装置，便于两个靶材交替进行镀膜，缩短了更换靶材的时间，提高了生产效率，通过设置移动装置，提高了对靶材轰击的均匀性，延长了靶材的使用寿命。