[实用新型]靶材溅射装置

权利要求书

1.靶材溅射装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的上端中部固定连接有两个支撑板(2)，两个所述支撑板(2)的右端下部均开有移动口(7)，两个所述支撑板(2)的相对面上部共同固定连接有限位杆(9)，右侧所述支撑板(2)的右端上部穿插活动连接有移动装置(8)，所述底座(1)的上端中部开有滑槽(4)，所述滑槽(4)内滑动连接有放置装置(3)，所述底座(1)的上端左部和上端右部均固定连接有挡板(5)，右侧所述挡板(5)的右端下部穿插固定连接有推动装置(6)。

2.根据权利要求1所述的靶材溅射装置，其特征在于：所述放置装置(3)包括连接板(31)，所述连接板(31)的下端中部固定连接有滑条(33)，所述连接板(31)的上端左部和上端右部均固定连接有放置座(32)，两个所述放置座(32)的上端中部均开有放置槽(34)，两个所述放置槽(34)内均放置有靶材(35)，两个所述放置座(32)的前端上部均开有缺口(36)，所述滑条(33)的下端与滑槽(4)滑动连接。

3.根据权利要求1所述的靶材溅射装置，其特征在于：所述推动装置(6)包括气缸(61)，所述气缸(61)的输出端贯穿右侧挡板(5)的右端并固定连接有固定板(62)，所述固定板(62)的右端四角均螺纹连接有螺栓(63)，所述固定板(62)的左端通过四个螺栓(63)与右侧放置座(32)的右端固定连接。

4.根据权利要求1所述的靶材溅射装置，其特征在于：所述移动装置(8)包括驱动电机(81)，所述驱动电机(81)的输出端贯穿右侧支撑板(2)的右端并固定连接有螺旋轴(82)，所述螺旋轴(82)的外表面中部螺纹连接有移动块(84)，所述移动块(84)的右端上部开有限位孔(83)，所述移动块(84)的下端固定连接有金属板(85)，所述金属板(85)的下端固定连接有若干个磁铁(86)，所述螺旋轴(82)的左端和右端均通过轴承分别与左侧支撑板(2)的右端和右侧支撑板(2)的左端活动连接。

5.根据权利要求2所述的靶材溅射装置，其特征在于：两个所述放置座(32)与两个支撑板(2)之间均互不接触。

6.根据权利要求4所述的靶材溅射装置，其特征在于：所述移动块(84)通过限位孔(83)与限位杆(9)穿插活动连接。