[实用新型]一种碳化硅和氮化镓半导体外延片检测用夹持装置有效
| 申请号： | 202021379358.7 | 申请日： | 2020-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN212859177U | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 王泓江 | 申请（专利权）人： | 安徽德徽创芯科技有限公司 |
| 主分类号： | B25B11/00 | 分类号： | B25B11/00 |
| 代理公司： | 广东有知猫知识产权代理有限公司 44681 | 代理人： | 李小波 |
| 地址： | 233000 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种碳化硅和氮化镓半导体外延片检测用夹持装置，包括支撑座和固定装置，所述支撑座上方安装有放置台，且放置台上表面放置有外延片。该一种碳化硅和氮化镓半导体外延片检测用夹持装置安装有固定装置，固定块上端内表面设置有第一弹簧，且第一弹簧与半圆滑块之间构成弹性结构，所以当调整好延伸杆的角度使固定装置下压至外延片上表面时，第一弹簧可以有效的对固定装置施加的力度进行缓冲，防止外延片受损，而支撑柱末端连接的第二弹簧可以对按压时的力度进行二次缓冲，大大加强了固定装置的稳定性，且支撑柱通过限位槽与固定块之间构成限位结构，有利于防止固定装置在按压过程中第一弹簧由于受力完全收缩，使得固定效果不佳。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 氮化 半导体 外延 检测 夹持 装置 | ||
【主权项】：
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