[实用新型]一种碳化硅和氮化镓半导体外延片检测用夹持装置

说明书

本实用新型公开了一种碳化硅和氮化镓半导体外延片检测用夹持装置，包括支撑座和固定装置，所述支撑座上方安装有放置台，且放置台上表面放置有外延片。该一种碳化硅和氮化镓半导体外延片检测用夹持装置安装有固定装置，固定块上端内表面设置有第一弹簧，且第一弹簧与半圆滑块之间构成弹性结构，所以当调整好延伸杆的角度使固定装置下压至外延片上表面时，第一弹簧可以有效的对固定装置施加的力度进行缓冲，防止外延片受损，而支撑柱末端连接的第二弹簧可以对按压时的力度进行二次缓冲，大大加强了固定装置的稳定性，且支撑柱通过限位槽与固定块之间构成限位结构，有利于防止固定装置在按压过程中第一弹簧由于受力完全收缩，使得固定效果不佳。

技术领域

本实用新型涉及夹持装置技术领域，具体为一种碳化硅和氮化镓半导体外延片检测用夹持装置。

背景技术

外延是半导体工艺当中的一种，在bipolar工艺中，硅片最底层是P型衬底硅(有的加点埋层)，然后在衬底上生长一层单晶硅，这层单晶硅称为外延层，再后来在外延层上注入基区、发射区等等，最后基本形成纵向NPN管结构，外延层在其中是集电区，外延上面有基区和发射区，外延片就是在衬底上做好外延层的硅片。

市面上的外延片检测用夹持装置不能有效的对外延片进行固定夹持，且针对不同规格及尺寸的外延片无法灵活的进行调节，从而导致检测时固定的外延片稳定性不足，针对上述情况，我们推出了一种碳化硅和氮化镓半导体外延片检测用夹持装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种碳化硅和氮化镓半导体外延片检测用夹持装置，以解决上述背景技术中提出一般的新型外延片检测用夹持装置，其不能有效的对外延片进行固定夹持，且针对不同规格及尺寸的外延片无法灵活的进行调节，从而导致检测时固定的外延片稳定性不足的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种碳化硅和氮化镓半导体外延片检测用夹持装置，包括支撑座和固定装置，所述支撑座上方安装有放置台，且放置台上表面放置有外延片，所述支撑座上方安装有伸缩杆，且伸缩杆一侧设置有螺栓，所述伸缩杆上端设置有旋转轴，且旋转轴内部安装有复位弹簧，所述复位弹簧右端连接有延伸杆，且延伸杆末端设置有固定装置。

优选的，所述伸缩杆呈等距离均匀分布于支撑座表面，且伸缩杆通过螺栓构成可调节结构。

优选的，所述延伸杆与复位弹簧之间构成复位结构，且延伸杆通过旋转轴与伸缩杆之间构成旋转结构。

优选的，所述固定装置包括固定块、第一弹簧、半圆滑块、支撑柱、第二弹簧、限位槽、滑珠、贴合板和海绵垫，且固定块上端内表面设置有第一弹簧，所述第一弹簧下方连接有半圆滑块，且半圆滑块两端固定有支撑柱，所述支撑柱末端连接有第二弹簧，所述固定块两侧下端开设有限位槽，所述半圆滑块下方安装有滑珠，且滑珠下方设置有贴合板，所述贴合板下表面胶接有海绵垫。

优选的，所述半圆滑块与第一弹簧之间构成弹性结构，且半圆滑块的竖直中心线与滑珠的竖直中心线相重合。

优选的，所述支撑柱通过限位槽与固定块之间构成限位结构，且支撑柱关于固定块的竖直中心线呈对称分布。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该新型外延片检测用夹持装置安装有伸缩杆，伸缩杆通过螺栓构成可调节结构，有利于使外延片的固定效果更加明显，延伸杆通过旋转轴与伸缩杆之间构成旋转结构，且延伸杆与复位弹簧之间构成复位结构，从而方便使延伸杆调整方向，进而使得固定装置可以下压至外延片上表面，由于延伸杆上安装有螺栓，方便调节延伸杆的长度，从而使得固定装置可以固定到外延片的边缘；