[实用新型]一种碳化硅和氮化镓半导体外延片检测用夹持装置

权利要求书

1.一种碳化硅和氮化镓半导体外延片检测用夹持装置，包括支撑座(1)和固定装置(9)，其特征在于：所述支撑座(1)上方安装有放置台(2)，且放置台(2)上表面放置有外延片(3)，所述支撑座(1)上方安装有伸缩杆(4)，且伸缩杆(4)一侧设置有螺栓(5)，所述伸缩杆(4)上端设置有旋转轴(6)，且旋转轴(6)内部安装有复位弹簧(7)，所述复位弹簧(7)右端连接有延伸杆(8)，且延伸杆(8)末端设置有固定装置(9)。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅和氮化镓半导体外延片检测用夹持装置，其特征在于：所述伸缩杆(4)呈等距离均匀分布于支撑座(1)表面，且伸缩杆(4)通过螺栓(5)构成可调节结构。

3.根据权利要求1所述的一种碳化硅和氮化镓半导体外延片检测用夹持装置，其特征在于：所述延伸杆(8)与复位弹簧(7)之间构成复位结构，且延伸杆(8)通过旋转轴(6)与伸缩杆(4)之间构成旋转结构。

4.根据权利要求1所述的一种碳化硅和氮化镓半导体外延片检测用夹持装置，其特征在于：所述固定装置(9)包括固定块(901)、第一弹簧(902)、半圆滑块(903)、支撑柱(904)、第二弹簧(905)、限位槽(906)、滑珠(907)、贴合板(908)和海绵垫(909)，且固定块(901)上端内表面设置有第一弹簧(902)，所述第一弹簧(902)下方连接有半圆滑块(903)，且半圆滑块(903)两端固定有支撑柱(904)，所述支撑柱(904)末端连接有第二弹簧(905)，所述固定块(901)两侧下端开设有限位槽(906)，所述半圆滑块(903)下方安装有滑珠(907)，且滑珠(907)下方设置有贴合板(908)，所述贴合板(908)下表面胶接有海绵垫(909)。

5.根据权利要求4所述的一种碳化硅和氮化镓半导体外延片检测用夹持装置，其特征在于：所述半圆滑块(903)与第一弹簧(902)之间构成弹性结构，且半圆滑块(903)的竖直中心线与滑珠(907)的竖直中心线相重合。

6.根据权利要求4所述的一种碳化硅和氮化镓半导体外延片检测用夹持装置，其特征在于：所述支撑柱(904)通过限位槽(906)与固定块(901)之间构成限位结构，且支撑柱(904)关于固定块(901)的竖直中心线呈对称分布。