[实用新型]一种用于光芯片波导微小缺陷的检测系统有效
| 申请号： | 202021378291.5 | 申请日： | 2020-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN212932438U | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 蒋全梅 | 申请（专利权）人： | 上海申赋实业有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95 |
| 代理公司： | 上海世圆知识产权代理有限公司 31320 | 代理人： | 王佳妮;顾俊超 |
| 地址： | 201802 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种用于光芯片波导微小缺陷的检测系统，包括工业相机、第一光学成像装置、第二光学成像装置、第一光源、第二光源、多维调节台和工控电脑，光芯片放置于多维调节台的上端，工业相机与工控电脑连接，工业相机、第一光学成像装置、第一光源、第二光学成像装置自上而下依次连接，第二光源与第二光学成像装置的侧面连接，第一光源为环形光源，第二光源为平行同轴光源；本实用新型与现有技术相比，结构简单，不用调节检测系统与线路板的距离，使用时只要调节调节台的高低即可成像，方便可靠，能清晰观察到光芯片微小缺陷的情况，扩展物距，使得镜头与检测物的工作距离很长，方便使用者对检测物操作，提高产品质量检测水平。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 芯片 波导 微小 缺陷 检测 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海申赋实业有限公司，未经上海申赋实业有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202021378291.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
