[实用新型]一种用于光芯片波导微小缺陷的检测系统

说明书

本实用新型提供了一种用于光芯片波导微小缺陷的检测系统，包括工业相机、第一光学成像装置、第二光学成像装置、第一光源、第二光源、多维调节台和工控电脑，光芯片放置于多维调节台的上端，工业相机与工控电脑连接，工业相机、第一光学成像装置、第一光源、第二光学成像装置自上而下依次连接，第二光源与第二光学成像装置的侧面连接，第一光源为环形光源，第二光源为平行同轴光源；本实用新型与现有技术相比，结构简单，不用调节检测系统与线路板的距离，使用时只要调节调节台的高低即可成像，方便可靠，能清晰观察到光芯片微小缺陷的情况，扩展物距，使得镜头与检测物的工作距离很长，方便使用者对检测物操作，提高产品质量检测水平。

技术领域

本实用新型涉及光学仪器领域，尤其涉及一种用于光芯片波导微小缺陷的检测系统。

背景技术

目前，现有的常规高倍率显微镜镜头工作距离和景深都有限，并且对于光芯片波导的观察水平有限，尤其是对于波导中微小缺陷的识别，不能很好的检测，对于光芯片波导检测来讲，波导的质量在外观上主要取决于波导表面是否有缺陷，而常规显微镜对于这种缺陷的识别基本比较困难，且物距太短，不方便使用者操作，鉴于上述情况，亟待设计一种针对于光芯片波导微小缺陷检测的光学仪器。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种用于光芯片波导微小缺陷的检测系统。

为了实现上述目的，本实用新型的技术方案是：

一种用于光芯片波导微小缺陷的检测系统，其特征在于，包括工业相机、第一光学成像装置、第二光学成像装置、第一光源、第二光源、多维调节台和工控电脑，所述光芯片放置于多维调节台的上端，所述工业相机与工控电脑连接，所述工业相机、第一光学成像装置、第一光源、第二光学成像装置自上而下依次连接，所述第二光源与第二光学成像装置的侧面连接，所述第一光源为环形光源，所述第二光源为平行同轴光源，

所述第一光学成像装置包括第一镜筒，所述第一镜筒内由下至上依次设有第一透镜、第二透镜和第三透镜，所述第一透镜为双凸透镜，所述第二透镜为中央向上弯折的凹透镜，所述第三透镜为双凹透镜，

所述第二光学成像装置包括第二镜筒，所述第二镜筒内由下至上依次设有第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜、第八透镜、第九透镜和第十透镜，所述第四透镜为平凸透镜，所述第五透镜和第六透镜为上下对称设置的凸透镜，所述第七透镜为双凸透镜，所述第八透镜为双凹透镜，所述第九透镜为凸透镜，所述第十透镜为平凸透镜，所述第二镜筒的上部设有分光棱镜。

进一步地，所述第一透镜和第二透镜靠近设置，所述第二透镜和第三透镜存在间距，所述第二透镜下端的弧度与第一透镜上端的弧度配合。

进一步地，所述第四透镜的上端为凸面，所述第十透镜的下端为凸面。

进一步地，所述第五透镜上端凸起的弧度大于第五透镜下端凸起的弧度。

进一步地，所述第七透镜上端的弧度与第八透镜下端的弧度配合，所述第七透镜的上端紧贴第八透镜的下端连接。

进一步地，所述第九透镜上端凸起的弧度小于第九透镜下端凸起的弧度。

进一步地，所述分光棱镜呈三棱柱状，所述分光棱镜的上表面与第二镜筒上端的内壁连接，所述分光棱镜的侧面与第二镜筒中远离第二光源的一侧内壁连接。

进一步地，所述多维调节台为五维调节台，所述多维调节台包括手动调整架和角度调整架。

进一步地，所述工业相机和工控电脑之间通过USB/RS232串口线连接。

本实用新型与现有技术相比，结构简单，不用调节本检测系统与线路板之间距离，使用时只要稍微调节调节台的高低即可成像，方便可靠，并能够清晰地观察到光芯片微小缺陷的情况，且扩展了物距，使得镜头与检测物的工作距离很长，方便使用者对检测物的操作，提高产品质量的检测水平。

附图说明