[实用新型]一种高速双头固晶装置有效
| 申请号： | 202021360684.3 | 申请日： | 2020-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN212434587U | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 向军;封浩;冯霞霞 | 申请（专利权）人： | 江苏新智达新能源设备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 南京中高专利代理有限公司 32333 | 代理人： | 袁兴隆 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种高速双头固晶装置，包括甩臂驱动机构、第一竖直驱动机构和第二竖直驱动机构，所述甩臂驱动机构可以调节所述第一甩臂和所述第二甩臂的位置，所述第一竖直驱动机构能够驱动第一甩臂沿竖直方向运动进行取晶或固晶，所述第一竖直驱动机构设置第一竖直滑块与第一连接杆固定连接并沿竖直方向运动，所述第二竖直驱动机构能够驱动第二甩臂沿竖直方向运动进行取晶或固晶，所述第二竖直驱动机构设置了第二竖直滑块与第二连接杆固定连接并沿竖直方向运动，避免第一连接杆和第二连接杆受到磨损发生变形和断裂现象，增加了使用寿命，同时第一连接杆和第二连接杆可以更高的速度运动，极大的提升装置的工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高速 双头固晶 装置 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
