[实用新型]一种高速双头固晶装置有效
| 申请号: | 202021360684.3 | 申请日: | 2020-07-10 |
| 公开(公告)号: | CN212434587U | 公开(公告)日: | 2021-01-29 |
| 发明(设计)人: | 向军;封浩;冯霞霞 | 申请(专利权)人: | 江苏新智达新能源设备有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司: | 南京中高专利代理有限公司 32333 | 代理人: | 袁兴隆 |
| 地址: | 214000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 高速 双头固晶 装置 | ||
1.一种高速双头固晶装置,包括机架(1)、第一甩臂(2)和第二甩臂(3),其特征在于,还包括:
第一竖直驱动机构,所述第一竖直驱动机构能够驱动所述第一甩臂(2)沿竖直方向运动;
第二竖直驱动机构,所述第二竖直驱动机构能够驱动所述第二甩臂(3)沿竖直方向运动;
甩臂驱动机构,所述甩臂驱动机构包括转台(4)和转动电机(5),所述转动电机(5)固定安装在所述机架(1)上,所述第一甩臂(2)和所述第二甩臂(3)安装在所述转台(4)上,所述转动电机(5)的输出轴与所述转台(4)固定连接并可驱动所述转台(4)转动,用于在旋转方向调节所述第一甩臂(2)和所述第二甩臂(3)的位置。
2.如权利要求1所述的一种高速双头固晶装置,其特征在于:所述第一竖直驱动机构包括第一连接杆(6)、第一竖直滑块(7)、第一竖直导轨(8)、第一点动机构,所述第一竖直轨道竖直固定在所述机架(1)上,所述第一竖直滑块(7)滑动安装在所述第一竖直轨道上,所述第一竖直滑块(7)与所述第一连接杆(6)固定连接,所述第一点动机构设置在所述机架(1)上,所述第一点动机构通过驱动所述第一竖直滑块(7)进而驱动所述第一连接杆(6)竖直上下移动。
3.如权利要求2所述的一种高速双头固晶装置,其特征在于:所述第一点动机构包括第一驱动电机(9)、第一偏心轮(10)和第一曲柄连杆(11),所述第一驱动电机(9)的输出轴与所述第一偏心轮(10)固定连接;所述第一曲柄连杆(11)的一端铰接在所述第一偏心轮(10)上,所述第一曲柄连杆(11)的另一端铰接在所述第一竖直滑块(7)上;所述第一驱动电机(9)驱动所述第一偏心轮(10)转动,所述第一偏心轮(10)驱动所述第一竖直滑块(7)上下移动。
4.如权利要求2所述的一种高速双头固晶装置,其特征在于:所述第二竖直驱动机构包括第二连接杆(12)、第二竖直滑块(13)、第二竖直导轨(14)、第二点动机构,所述第二竖直导轨(14)竖直固定在所述机架(1)上,所述第二竖直滑块(13)滑动安装在所述第二竖直导轨(14)上,所述第二竖直滑块(13)与所述第二连接杆(12)固定连接,所述第二点动机构设置在所述机架(1)上,所述第二点动机构通过驱动所述第二竖直滑块(13)进而驱动所述第二连接杆(12)竖直上下移动。
5.如权利要求4所述的一种高速双头固晶装置,其特征在于:所述第二点动机构包括第二驱动电机(15)、第二偏心轮(16)和第二曲柄连杆(17),所述第二驱动电机(15)的输出轴与所述第二偏心轮(16)固定连接;所述第二曲柄连杆(17)的一端铰接在所述第二偏心轮(16)上,所述第二曲柄连杆(17)的另一端铰接在所述第二竖直滑块(13)上;所述第二驱动电机(15)驱动所述第二偏心轮(16)转动,所述第二偏心轮(16)驱动所述第二竖直滑块(13)上下移动。
6.如权利要求5所述一种高速双头固晶装置,其特征在于:所述第一竖直驱动机构还包括支撑轴(18)、第三连接杆(19)、第三竖直滑块(20)和第三竖直导轨(21),所述支撑轴(18)沿竖直方向活动安装在所述转台(4)上,所述支撑轴(18)的顶部与所述第一连接杆(6)固定连接,所述支撑轴(18)的底部与所述第三连接杆(19)的一端转动连接,所述第三连接杆(19)的另一端与所述第三竖直滑块(20)一端固定连接,所述第三竖直导轨(21)设置在所述转台(4)上,所述第三竖直滑块(20)滑动设置在所述第三竖直导轨(21) 上,并与所述第一甩臂(2)固定连接,所述支撑轴(18)在所述第一连接杆(6)的驱动下上下运动可带动所述第一甩臂(2)上下移动。
7.如权利要求6所述一种高速双头固晶装置,其特征在于:所述第二竖直驱动机构还包括连接轴(22)、第四连接杆(23)、第四竖直滑块(24)和第四竖直导轨(25),所述支撑轴(18)中设置有安装孔,所述连接轴(22)由上至下插入所述安装孔中并能沿所述安装孔的轴向上下移动,所述连接轴(22)的顶部与所述第二连接杆(12)固定连接,所述连接轴(22)的底部与所述第四连接杆(23)的一端转动连接,所述第四连接杆(23)的另一端与所述第四竖直滑块(24)一端固定连接,所述第四竖直导轨(25)沿竖直方向设置在所述转台(4)上,所述第四竖直滑块(24)滑动设置在所述第四竖直导轨(25)上,并与所述第二甩臂(3)固定连接,所述支撑轴(18)在所述第二连接杆(12)的驱动下上下移动可带动所述第二甩臂(3)上下移动。
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