[实用新型]一种可调式单晶炉中轴盖有效
申请号: | 202021354972.8 | 申请日: | 2020-07-11 |
公开(公告)号: | CN213232568U | 公开(公告)日: | 2021-05-18 |
发明(设计)人: | 李茂欣 | 申请(专利权)人: | 上海磐盟电子材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 北京化育知识产权代理有限公司 11833 | 代理人: | 尹均利 |
地址: | 201617 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型涉及单晶炉设备技术领域,具体为一种可调式单晶炉中轴盖,包括加热器、坩埚、端盖组件和石墨电极,所述端盖组件包括第一端盖,所述第一端盖的内部固定连接有隔热层,所述第一端盖的下表面通过沉头螺栓固定连接有第二端盖,所述第二端盖的下表面固定连接有橡胶垫,所述第一端盖的下表面中心处固定连接有连接轴,所述连接轴的外部固定连接有密封塞,所述连接轴的内部设置有螺纹孔,所述端盖组件的上方活动连接有坩埚,所述端盖组件的下方固定连接有中轴组件。本实用新型通过优化端盖组件,使其能够起到对底部管道的防护作用,通过上下端盖和密封塞实现对其的密封防护效果,从而减少清洗炉体时,导致的灰尘进入管道。 | ||
搜索关键词: | 一种 调式 单晶炉 中轴 | ||
【主权项】:
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