[实用新型]一种可调式单晶炉中轴盖有效
| 申请号: | 202021354972.8 | 申请日: | 2020-07-11 |
| 公开(公告)号: | CN213232568U | 公开(公告)日: | 2021-05-18 |
| 发明(设计)人: | 李茂欣 | 申请(专利权)人: | 上海磐盟电子材料有限公司 |
| 主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
| 代理公司: | 北京化育知识产权代理有限公司 11833 | 代理人: | 尹均利 |
| 地址: | 201617 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 调式 单晶炉 中轴 | ||
1.一种可调式单晶炉中轴盖,包括加热器(2)、坩埚(3)、端盖组件(4)和石墨电极(5),其特征在于:所述端盖组件(4)包括第一端盖(41),所述第一端盖(41)的内部固定连接有隔热层(42),所述第一端盖(41)的下表面通过沉头螺栓(44)固定连接有第二端盖(43),所述第二端盖(43)的下表面固定连接有橡胶垫(45),所述第一端盖(41)的下表面中心处固定连接有连接轴(47),所述连接轴(47)的外部固定连接有密封塞(46),所述连接轴(47)的内部设置有螺纹孔(48),所述端盖组件(4)的上方活动连接有坩埚(3),所述端盖组件(4)的下方固定连接有中轴组件(7),所述中轴组件(7)的外部固定连接有护套(6),所述坩埚(3)的外部固定连接有加热器(2),所述加热器(2)的下方固定连接有石墨电极(5),所述加热器(2)的外部固定连接有炉体(1)。
2.根据权利要求1所述的一种可调式单晶炉中轴盖,其特征在于:所述隔热层(42)的内部填充有泡沫玻璃,所述第一端盖(41)的直径大于护套(6)的直径,所述密封塞(46)的直径等于护套(6)的直径,所述护套(6)的上方那个呈锥形结构,所述密封塞(46)呈锥形结构。
3.根据权利要求1所述的一种可调式单晶炉中轴盖,其特征在于:所述端盖组件(4)与中轴组件(7)呈螺纹连接,所述中轴组件(7)的顶部呈台阶状,且外壁设置有螺纹,且与螺纹孔(48)呈螺纹连接。
4.根据权利要求1所述的一种可调式单晶炉中轴盖,其特征在于:所述中轴组件(7)包括中轴杆(71),所述中轴杆(71)的顶部设置有螺纹盖(76),所述中轴杆(71)的外部设置有保温管(72),所述保温管(72)的顶部设置有外螺纹柱(77),所述保温管(72)的内部设置有金属层(73),所述金属层(73)的内部设置有泡沫玻璃层(74),所述泡沫玻璃层(74)的内部设置有石墨毡(75)。
5.根据权利要求4所述的一种可调式单晶炉中轴盖,其特征在于:所述中轴杆(71)呈分段式结构,且连接处采用螺纹进行连接,所述保温管(72)采用分段式连接,且连接处采用螺纹连接,且两者连接处呈同一水平线。
6.根据权利要求4所述的一种可调式单晶炉中轴盖,其特征在于:所述中轴组件(7)呈圆柱形,所述中轴组件(7)采用内外层设计,且两者相互贴合。
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