[实用新型]一种可调式单晶炉中轴盖有效

专利信息
申请号: 202021354972.8 申请日: 2020-07-11
公开(公告)号: CN213232568U 公开(公告)日: 2021-05-18
发明(设计)人: 李茂欣 申请(专利权)人: 上海磐盟电子材料有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00
代理公司: 北京化育知识产权代理有限公司 11833 代理人: 尹均利
地址: 201617 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 调式 单晶炉 中轴
【权利要求书】:

1.一种可调式单晶炉中轴盖,包括加热器(2)、坩埚(3)、端盖组件(4)和石墨电极(5),其特征在于:所述端盖组件(4)包括第一端盖(41),所述第一端盖(41)的内部固定连接有隔热层(42),所述第一端盖(41)的下表面通过沉头螺栓(44)固定连接有第二端盖(43),所述第二端盖(43)的下表面固定连接有橡胶垫(45),所述第一端盖(41)的下表面中心处固定连接有连接轴(47),所述连接轴(47)的外部固定连接有密封塞(46),所述连接轴(47)的内部设置有螺纹孔(48),所述端盖组件(4)的上方活动连接有坩埚(3),所述端盖组件(4)的下方固定连接有中轴组件(7),所述中轴组件(7)的外部固定连接有护套(6),所述坩埚(3)的外部固定连接有加热器(2),所述加热器(2)的下方固定连接有石墨电极(5),所述加热器(2)的外部固定连接有炉体(1)。

2.根据权利要求1所述的一种可调式单晶炉中轴盖,其特征在于:所述隔热层(42)的内部填充有泡沫玻璃,所述第一端盖(41)的直径大于护套(6)的直径,所述密封塞(46)的直径等于护套(6)的直径,所述护套(6)的上方那个呈锥形结构,所述密封塞(46)呈锥形结构。

3.根据权利要求1所述的一种可调式单晶炉中轴盖,其特征在于:所述端盖组件(4)与中轴组件(7)呈螺纹连接,所述中轴组件(7)的顶部呈台阶状,且外壁设置有螺纹,且与螺纹孔(48)呈螺纹连接。

4.根据权利要求1所述的一种可调式单晶炉中轴盖,其特征在于:所述中轴组件(7)包括中轴杆(71),所述中轴杆(71)的顶部设置有螺纹盖(76),所述中轴杆(71)的外部设置有保温管(72),所述保温管(72)的顶部设置有外螺纹柱(77),所述保温管(72)的内部设置有金属层(73),所述金属层(73)的内部设置有泡沫玻璃层(74),所述泡沫玻璃层(74)的内部设置有石墨毡(75)。

5.根据权利要求4所述的一种可调式单晶炉中轴盖,其特征在于:所述中轴杆(71)呈分段式结构,且连接处采用螺纹进行连接,所述保温管(72)采用分段式连接,且连接处采用螺纹连接,且两者连接处呈同一水平线。

6.根据权利要求4所述的一种可调式单晶炉中轴盖,其特征在于:所述中轴组件(7)呈圆柱形,所述中轴组件(7)采用内外层设计,且两者相互贴合。

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