[实用新型]一种可调式单晶炉中轴盖

说明书

本实用新型涉及单晶炉设备技术领域，具体为一种可调式单晶炉中轴盖，包括加热器、坩埚、端盖组件和石墨电极，所述端盖组件包括第一端盖，所述第一端盖的内部固定连接有隔热层，所述第一端盖的下表面通过沉头螺栓固定连接有第二端盖，所述第二端盖的下表面固定连接有橡胶垫，所述第一端盖的下表面中心处固定连接有连接轴，所述连接轴的外部固定连接有密封塞，所述连接轴的内部设置有螺纹孔，所述端盖组件的上方活动连接有坩埚，所述端盖组件的下方固定连接有中轴组件。本实用新型通过优化端盖组件，使其能够起到对底部管道的防护作用，通过上下端盖和密封塞实现对其的密封防护效果，从而减少清洗炉体时，导致的灰尘进入管道。

技术领域

本实用新型涉及单晶炉设备技术领域，具体为一种可调式单晶炉中轴盖。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备，目前，单晶炉的底部采用中轴盖进行顶升动作，且底部的密封问题对设备的使用寿命具有一定的影响，能够对底部管道进行防护，从而提高设备使用寿命。

然而现有的单晶炉中轴盖的结构过于简单，均为简单的端盖和中轴组成，其下降时，无法对底部进行一定的密封作用，从而影响设备清扫时，出现灰尘等杂质掉落在下方的管道内，造成设备的损坏，此外该装置为加热设备，其底部与中轴具有一定的传热效果，使得设备在加工的过程中出现热量随着中轴向下传递的情况，从而对设备的加热效果造成影响，降低其加工效果。

因此，提出一种可调式单晶炉中轴盖来解决上述问题很有必要。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种可调式单晶炉中轴盖，以解决上述背景技术中提出底部管道容易进入灰尘等杂质和使用时中轴出现热传导的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种可调式单晶炉中轴盖，包括加热器、坩埚、端盖组件和石墨电极，所述端盖组件包括第一端盖，所述第一端盖的内部固定连接有隔热层，所述第一端盖的下表面通过沉头螺栓固定连接有第二端盖，所述第二端盖的下表面固定连接有橡胶垫，所述第一端盖的下表面中心处固定连接有连接轴，所述连接轴的外部固定连接有密封塞，所述连接轴的内部设置有螺纹孔，所述端盖组件的上方活动连接有坩埚，所述端盖组件的下方固定连接有中轴组件，所述中轴组件的外部固定连接有护套，所述坩埚的外部固定连接有加热器，所述加热器的下方固定连接有石墨电极，所述加热器的外部固定连接有炉体。

在其中一个实施例中，所述隔热层的内部填充有泡沫玻璃，所述第一端盖的直径大于护套的直径，所述密封塞的直径等于护套的直径，所述护套的上方那个呈锥形结构，所述密封塞呈锥形结构。

在其中一个实施例中，所述端盖组件与中轴组件呈螺纹连接，所述中轴组件的顶部呈台阶状，且外壁设置有螺纹，且与螺纹孔呈螺纹连接。

在其中一个实施例中，所述中轴组件包括中轴杆，所述中轴杆的顶部设置有螺纹盖，所述中轴杆的外部设置有保温管，所述保温管的顶部设置有外螺纹柱，所述保温管的内部设置有金属层，所述金属层的内部设置有泡沫玻璃层，所述泡沫玻璃层的内部设置有石墨毡。

在其中一个实施例中，所述中轴杆呈分段式结构，且连接处采用螺纹进行连接，所述保温管采用分段式连接，且连接处采用螺纹连接，且两者连接处呈同一水平线。

在其中一个实施例中，所述中轴组件呈圆柱形，所述中轴组件采用内外层设计，且两者相互贴合。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型通过在端盖部进行优化，通过上下层的设计进行卡合，且在下层处安装有锥形密封塞，进一步能够实现对底部管道的完全密封，且其密封效果更具有良好的耐磨性，提高了其使用寿命，实现对设备清扫时，能够起到对下部管道的防尘作用，