[实用新型]一种用于金刚石膜沉积的衬底预处理支架

摘要

本实用新型公开了一种用于金刚石膜沉积的衬底预处理支架，包括端盖、腔体、吸盘、支撑架、密封垫、开度控制装置、进气孔、抽气孔、连接腔、密封槽、吸盘连接孔、螺杆、开度块和连接块。该对沉积金刚石膜的衬底超声预处理时的衬底支架，端盖的上端面设置有进气孔和抽气孔，所述进气孔和抽气孔设置为对称结构，利用气压差，使基底在外部的气压的作用下，紧贴支架上，使衬底稳定悬于悬浊液中，衬底的每部分受到均匀处理，并且在处理的数量上有很大的提高，具有很好的应用前景，同时该装置简单且易于生产，降低使用成本。