[实用新型]振动传感器有效
| 申请号： | 202021259129.1 | 申请日： | 2020-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN218679380U | 公开（公告）日： | 2023-03-21 |
| 发明（设计）人： | 曾鹏;王天娇 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/04 |
| 代理公司： | 深圳君信诚知识产权代理事务所(普通合伙) 44636 | 代理人： | 刘伟 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种振动传感器，其包括电路板、固定于电路板且与电路板围成收容腔的外壳、收容于收容腔内并将收容腔分隔呈第一腔和第二腔的振膜组件、MEMS麦克风以及贴设于振膜组件靠近第二腔的一侧并与MEMS麦克风电性连接的ASIC芯片，外壳设有第一泄压孔，MEMS麦克风收容于第二腔内并与电路板电性连接，MEMS麦克风包括固定于电路板且具有背腔的基座、支撑于基座远离电路板一端的第一振膜和背极板，第一振膜与背极板间隔形成电容结构；振动传感器输入振动信号或压力信号时，振膜组件振动，并使收容腔内的气压产生变化。与相关技术相比，本实用新型的振动传感器灵敏度更高，可靠性更好。 | ||
| 搜索关键词： | 振动 传感器 | ||
【主权项】：
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