[实用新型]一种硅片吸附用吸盘有效
| 申请号： | 202021258988.9 | 申请日： | 2020-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN212580956U | 公开（公告）日： | 2021-02-23 |
| 发明（设计）人： | 刘国彬 | 申请（专利权）人： | 深圳市德澳美科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/91 | 分类号： | B65G47/91 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及硅片转移的技术领域，尤其是涉及一种硅片吸附用吸盘，包括吸附部和安装部，所述吸附部上开设有若干气孔，吸盘内则开设有与气孔相通的通气槽，所述吸附部上开设有若干吸附槽，所述气孔设置在所述吸附槽的槽底上。本申请具有以下效果：通过开设吸附槽，增大了吸盘对硅片的有效吸附面积，从而使得硅片会紧密贴合在吸盘上，增强了吸盘对硅片的吸附作用，进而减小了硅片在移动过程中从吸盘上脱落的概率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 吸附 吸盘 | ||
【主权项】：
暂无信息
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