[实用新型]一种硅片吸附用吸盘

说明书

本申请涉及硅片转移的技术领域，尤其是涉及一种硅片吸附用吸盘，包括吸附部和安装部，所述吸附部上开设有若干气孔，吸盘内则开设有与气孔相通的通气槽，所述吸附部上开设有若干吸附槽，所述气孔设置在所述吸附槽的槽底上。本申请具有以下效果：通过开设吸附槽，增大了吸盘对硅片的有效吸附面积，从而使得硅片会紧密贴合在吸盘上，增强了吸盘对硅片的吸附作用，进而减小了硅片在移动过程中从吸盘上脱落的概率。

技术领域

本申请涉及硅片转移的技术领域，尤其是涉及一种硅片吸附用吸盘。

背景技术

在硅片的加工过程中，硅片在制绒后需要进行扩散，扩散工艺则需要将花篮中的硅片转移到石英舟内，然后将石英舟放入到扩散炉内。硅片的质量小，厚度薄，因此常采用吸盘吸附的方式来移动硅片。

参照图1，目前，常用于硅片转移用机械手上的吸盘的上具有气流槽400，吸盘的一侧上具有与气流槽400连通的通气孔410，气流槽400的槽口处封堵有槽盖420，利用真空泵为动力源，每个吸盘上气流槽400均通过气管与真空泵接通，从而启动真空泵实现吸盘上的通气孔410将硅片吸附固定。

上述中的现有技术方案存在以下缺陷：在实际的使用过程中，吸盘会随机械手的移动而移动，因硅片较薄，移动时吸盘上的硅片容易受气流影响而发生形变，从而脱离气孔的吸附范围，使得硅片从吸盘上脱落，进而降低加工效率。

实用新型内容

为了减小机械手移动时硅片从吸盘上掉落的可能性，本申请提供一种硅片吸附用吸盘。

本申请提供的一种硅片吸附用吸盘采用如下的技术方案：

一种硅片吸附用吸盘，包括吸附部和安装部，所述吸附部上开设有若干气孔，吸盘内则开设有与气孔相通的通气槽，所述吸附部上开设有若干吸附槽，所述气孔设置在所述吸附槽的槽底上。

通过采用上述技术方案，当气孔处形成负压时，硅片会贴合在吸附部上，而吸附槽内的空气将会被抽走，从而吸附槽内均会形成负压状态，增大了硅片与吸附部之间的吸附面积，使得硅片会紧密贴合在吸附部上，进而增强了吸附部对硅片的吸附作用，减小了硅片在随机械手移动时从吸盘上脱落的概率。

优选的，若干所述吸附槽相互套接，所述吸附槽呈环状。

通过采用上述技术方案，吸附槽的套接将在吸附部对硅片进行吸附时相互协同作用，使得吸附部对硅片的吸附作用得到增强，从而提高了吸附时硅片的稳定性，进一步减小了硅片从吸盘上脱落的概率。

优选的，所述吸附槽包括两个直线部和两个环形部，两个环形部分别连接在直线部的两端上。

通过采用上述技术方案，吸附槽的形状将与硅片相适配，从而硅片能更好地贴合在吸附槽上，进而保障了吸附部对硅片的吸附效果，进一步减小了硅片从吸附部上脱落的可能性。

优选的，若干所述气孔间隔设置在吸附槽的直线部上。

通过采用上述技术方案，气孔的间隔使得各个气孔能均匀地在吸附槽的槽底产生吸力，而不会相互影响，从而保障了吸附部对硅片的吸附效果，提高了硅片被吸附在吸附部上时的稳定性。

优选的，所述吸附部的厚度小于所述安装部的厚度，所述吸附部远离安装部的一端上开设有刃型边。

通过采用上述技术方案，当吸附部向两硅片之间的间隙移动时，刃型部的开设将使得吸盘更容易嵌入至两硅片之间的间隙，从而在吸盘对硅片进行吸附时，吸盘不易与硅片之间发生碰撞，进而减小了硅片产生形变而报废的概率。

优选的，所述刃型边包括第一倾斜段、第二倾斜段和水平段，所述第一倾斜段和第二倾斜段的一端分别连接在吸附部的两侧上，所述水平段的两端分别和第一倾斜段的一端和第二倾斜段的一端相连接。