[实用新型]一种硅片吸附用吸盘

权利要求书

1.一种硅片吸附用吸盘，包括吸附部（100）和安装部（200），其特征在于：所述吸附部（100）上开设有若干气孔（110），吸盘内则开设有与气孔（110）相通的通气槽（300），所述吸附部（100）上开设有若干吸附槽（120），所述气孔（110）设置在所述吸附槽（120）的槽底上。

2.根据权利要求1所述的一种硅片吸附用吸盘，其特征在于：若干所述吸附槽（120）相互套接，所述吸附槽（120）呈环状。

3.根据权利要求2所述的一种硅片吸附用吸盘，其特征在于：所述吸附槽（120）包括两个直线部（121）和两个环形部（122），两个环形部（122）分别连接在直线部（121）的两端上。

4.根据权利要求3所述的一种硅片吸附用吸盘，其特征在于：若干所述气孔（110）间隔设置在吸附槽（120）的直线部（121）上。

5.根据权利要求1所述的一种硅片吸附用吸盘，其特征在于：所述吸附部（100）的厚度小于所述安装部（200）的厚度，所述吸附部（100）远离安装部（200）的一端上开设有刃型边（130）。

6.根据权利要求5所述的一种硅片吸附用吸盘，其特征在于：所述刃型边（130）包括第一倾斜段（140）、第二倾斜段（150）和水平段（160），所述第一倾斜段（140）和第二倾斜段（150）的一端分别连接在吸附部（100）的两侧上，所述水平段（160）的两端分别和第一倾斜段（140）的一端和第二倾斜段（150）的一端相连接。

7.根据权利要求6所述的一种硅片吸附用吸盘，其特征在于：所述第一倾斜段（140）和第二倾斜段（150）的夹角为钝角。

8.根据权利要求1所述的一种硅片吸附用吸盘，其特征在于：所述安装部（200）上开设有两个安装孔（210），所述通气槽（300）的一端设置在所述安装部（200）远离吸附部（100）的一端上且开口设置，所述安装部（200）的两侧上均开设有限位槽（220）。